北京北方华创微电子装备有限公司纪安宽获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利进气结构及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119008374B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411139509.4，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权进气结构及半导体工艺设备是由纪安宽;高瑞设计研发完成，并于2024-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本进气结构及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种进气结构及半导体工艺设备，进气结构用于半导体工艺腔室，进气结构包括进气主管、进气头部和密封转接组件；进气主管与进气头部连通，以通过进气头部向工艺腔室内输送工艺气体；密封转接组件设置在进气主管外，进气主管和进气头部通过密封转接组件对进气主管与工艺腔室之间进行可活动地密封，以能够相对于工艺腔室活动。本发明提供的进气结构及半导体工艺设备，能够提高半导体工艺腔室的进气均匀性及密封性，并且能够增加介质窗和上电极组件的优化设计空间，从而能够提高工艺腔室内的工艺气体的分布均匀性，并且能够增加对刻蚀结果进行优化设计的空间，进而能够改善半导体工艺结果。
本发明授权进气结构及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种进气结构，用于半导体工艺腔室，其特征在于，所述进气结构包括进气主管、进气头部和密封转接组件； 所述进气主管与所述进气头部连通，以通过所述进气头部向所述工艺腔室内输送工艺气体； 所述密封转接组件设置在所述进气主管外，所述进气主管和所述进气头部通过所述密封转接组件对所述进气主管与所述工艺腔室之间进行可活动地密封，以能够相对于所述工艺腔室活动； 所述进气结构还包括旋转驱动组件，所述旋转驱动组件通过所述进气主管与所述进气头部连接，用于通过驱动所述进气主管旋转，来带动所述进气头部旋转。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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