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吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司党冬奥获国家专利权

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龙图腾网获悉吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司申请的专利喷洒机构及CMP设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223146868U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421693251.8,技术领域涉及:B24B37/34;该实用新型喷洒机构及CMP设备是由党冬奥设计研发完成,并于2024-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。

喷洒机构及CMP设备在说明书摘要公布了:本申请涉及一种喷洒机构及CMP设备,喷洒机构包括喷洒主体、限位结构和传感组件。喷洒主体包括能够旋转的转轴,转轴旋转时可调整喷洒主体的落点位置。限位结构相对转轴可移动设置,限位结构能够移动至阻碍转轴旋转的限位位置,以将喷洒主体限位于与目标落点位置对应的目标工作位置。传感组件用于监测位于目标工作位置的喷洒主体的转轴的位置偏转情况。本申请的技术方案,可降低喷洒机构因外部原因而改变其工作位置,进而导致其落点位置发生改变的概率,即使工作位置改变,也便于工作人员及时发现并调整喷洒主体的工作位置,进而调整其落点位置,提高CMP设备的抛光效果。

本实用新型喷洒机构及CMP设备在权利要求书中公布了:1.一种喷洒机构,其特征在于,包括: 喷洒主体10,包括能够旋转的转轴11,所述转轴11旋转时可调整所述喷洒主体10的落点位置; 限位结构20,相对所述转轴11可移动设置,所述限位结构20能够移动至阻碍所述转轴11旋转的限位位置,以将所述喷洒主体10限位于与目标落点位置对应的目标工作位置;及 传感组件30,用于监测位于所述目标工作位置的所述喷洒主体10的所述转轴11的位置偏转情况。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司,其通讯地址为:214194 江苏省无锡市锡山区锡北镇泾祥路1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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