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龙图腾网获悉重庆邮电大学申请的专利一种腔光力学石墨烯光纤加速度计、制备方法及测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118330257B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410235747.9，技术领域涉及：G01P15/03；该发明授权一种腔光力学石墨烯光纤加速度计、制备方法及测量系统是由陈燕苹;邹梦强;刘小玮;刘申;刘宇;王义平;严文生设计研发完成，并于2024-03-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种腔光力学石墨烯光纤加速度计、制备方法及测量系统在说明书摘要公布了：本发明请求保护一种腔光力学石墨烯光纤加速度计、制备方法及测量系统，腔光力学石墨烯薄膜光纤加速度计包括单模光纤、光学微腔、光学薄膜和真空封装管，其中光纤FPI是光纤加速度计的敏感元件，由光纤端面、光学微腔和光学薄膜所组成；光学薄膜由石墨烯薄膜和质量块所组成。引入铬金金属薄膜增强了光学薄膜的反射率，引入石墨烯薄膜，提高了光纤加速度计的灵敏度。本发明采用石墨烯石英质量块组成的光学薄膜在光纤端面形成光纤FPI敏感外界加速度的变化，通过解调光纤FPI干涉光强实现光学薄膜机械谐振频率的探测，从而实现外界加速度测量，有利于传感器小型化、集成化，可以实现加速度的高精度测量，且具有抗电磁干扰的优点。

本发明授权一种腔光力学石墨烯光纤加速度计、制备方法及测量系统在权利要求书中公布了：1.一种腔光力学石墨烯薄膜光纤加速度计，其特征在于，包括单模光纤、光学微腔、光学薄膜和真空封装管，所述单模光纤包括第一端面和第二端面；所述光学微腔位于所述单模光纤的第二端面上，所述石墨烯薄膜位于所述光学微腔的另一端上，所述光学薄膜悬浮于光学微腔端面，所述单模光纤的第二端面、光学微腔和光学薄膜共同形成一光纤FPI；所述真空封装管套设于所述光纤FPI外，以对所述光纤FPI真空封装，所述单模光纤的第一端面露出于所述真空封装管外，单模光纤用于激励光与探测光的传输；光学微腔可形成光学谐振腔，用于腔光机械效应的激发；光学薄膜可以反射光信号以用于解调，同时作为机械谐振子敏感外界加速度；光纤FPI可用于提供干涉光，实现基于腔光机械效应的加速度探测； 所述光学薄膜包括石墨烯薄膜和质量块；所述质量块近石墨烯侧有镀金属薄膜，所述镀膜金属由金金属薄膜或金铬金属薄膜所组成；通过改变质量块的形状和尺寸，以及石墨烯薄膜的几何形状及尺寸，可以改变其加速度计的工作频率和工作范围； 光纤FPI通过如下方式进行制备：首先在切平的单模光纤端面制备光学微腔，其次，在所制备的光学微腔端面制备光学薄膜；再次，在石墨烯薄膜转移之后，在石墨烯薄膜衬底上依次制备金属薄膜铬和金；最后，对光学微腔端面的光学薄膜进行形状刻蚀，利用等离子体刻蚀或飞秒激光刻蚀或聚焦离子束FIB微加工方式；则加工后的光学薄膜与光学微腔及切平的光纤端面形成FPI。

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