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浙江大学温州研究院胡晓君获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江大学温州研究院申请的专利一种提高纳米金刚石薄膜中SiV色心光致发光强度的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117604488B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311500808.1,技术领域涉及:C23C16/27;该发明授权一种提高纳米金刚石薄膜中SiV色心光致发光强度的方法是由胡晓君;姜波;陈成克设计研发完成,并于2023-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。

一种提高纳米金刚石薄膜中SiV色心光致发光强度的方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种提高纳米金刚石薄膜中SiV色心光致发光强度的方法,可快速大幅提高纳米金刚石的光致发光强度。本发明的工艺简单、成本较低,对于提高纳米金刚石中SiV色心光致发光强度有重要价值。

本发明授权一种提高纳米金刚石薄膜中SiV色心光致发光强度的方法在权利要求书中公布了:1.一种提高纳米金刚石薄膜中SiV色心光致发光强度的方法,其特征在于所述方法为: S1:单晶硅片经金刚石微粉种晶,得到种晶的硅片; 所述种晶的硅片以丙酮为碳源、以碳化的钽丝为热源进行热丝化学气相沉积,在热丝化学气相沉积设备中安装钽丝距样品台高度为5~10mm,丙酮以氢气鼓泡的形式进入反应室中,所述丙酮的流量为50~100sccm,同时通入流量为200~250sccm的纯氢气,工作气压为5.3~6.0kPa;依次7V工作5~10min,12V工作5~10min,15V工作5~10min,完成钽丝碳化过程;将所述种晶的硅片放到所述样品台上,设置纯氢气流量,丙酮流量,工作气压及热丝功率,进行热丝化学气相沉积,得到纳米金刚石薄膜;所述的纳米金刚石薄膜在空气氛围中、经550-650℃热氧化处理15-30min,得到具有SiV色心发光的单颗粒层纳米金刚石薄膜; S2:将步骤S1所述的具有SiV色心发光的单颗粒层纳米金刚石薄膜浸没于5~8%的NaOH水溶液中,80~100℃水浴加热处理2~6min,所得薄膜经后处理,得到SiV色心光致发光强度加强的纳米金刚石薄膜。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江大学温州研究院,其通讯地址为:325000 浙江省温州市瓯海区凤南路26号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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