先导薄膜材料(广东)有限公司李明鸿获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种ITO平面靶材的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117263670B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311254824.7，技术领域涉及：C04B35/453；该发明授权一种ITO平面靶材的制备方法是由李明鸿;李帅;余芳;高日旭;李叶设计研发完成，并于2023-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种ITO平面靶材的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种ITO平面靶材的制备方法，属于靶材制备技术领域。该方法通过在靶坯烧结过程中在烧结炉的承托板上设置特殊的滑动结构以及隔热结构，可以在不改变加热方式的情况下有效抑制生成的ITO平面靶材的翘曲问题，同时不会出现开裂现象。
本发明授权一种ITO平面靶材的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种ITO平面靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 1在烧结炉的承托板上放置一级垫片，随后铺洒一层陶瓷颗粒，再放置二级垫片，最后铺洒一层氧化锡粉末； 2将待烧结的ITO靶坯放置在氧化锡粉末上，随后在ITO靶坯周围环形放置块状氧化铝，所述块状氧化铝的最低垂直高度比ITO靶坯的最高垂直高度高15～20mm，所述块状氧化铝与ITO靶坯的平面水平距离为8～10mm； 3在烧结炉内通入氧气并加热进行脱脂反应，随后进行烧结，即得所述ITO平面靶材。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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