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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种氧化铟掺杂钛钽铈靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116639955B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310678889.8，技术领域涉及：C04B35/01；该发明授权一种氧化铟掺杂钛钽铈靶材及其制备方法是由顾德盛;邵学亮;李开杰;罗斯诗;张兴宇设计研发完成，并于2023-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种氧化铟掺杂钛钽铈靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于氧化物靶材制备技术领域，公开了一种氧化铟掺杂钛钽铈靶材及其制备方法。所述制备方法为：按摩尔比为90.5～92.5:1.5～2.5:3～5:1.5～2.5称取氧化铟、氧化钛、氧化钽和氧化铈粉末，然后与分散剂加入到纯水中搅拌分散均匀，湿法研磨得到浆料一；再加入氧化铟粉末、分散剂和水经过湿法研磨得到浆料二；再加入粘结剂混合后经过湿法研磨得到浆料三；通过喷雾造粒，再进行混料和筛分，得到混合粉末；最后经过模压和冷等静压后脱脂、烧结，得到氧化铟掺杂钛钽铈靶材。本发明通过限定各氧化物粉末的成分配比及配合特定的制备工艺，可显著提高靶材的各项性能。

本发明授权一种氧化铟掺杂钛钽铈靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种氧化铟掺杂钛钽铈靶材的制备方法，其特征在于，包括如下制备步骤： （1）按摩尔比为90.5~92.5:1.5~2.5:3~5:1.5~2.5称取氧化铟粉末、氧化钛粉末、氧化钽粉末和氧化铈粉末； （2）将第一分散剂加入到纯水中搅拌分散均匀，然后加入步骤（1）中称取好的氧化钛粉末、氧化钽粉末和氧化铈粉末搅拌分散均匀，经过湿法研磨得到浆料一； （3）将步骤（1）中称取好的氧化铟粉末、第二分散剂和补加水加入浆料一，经过湿法研磨得到浆料二； （4）向步骤（3）所得的浆料二中加入粘结剂，分散均匀后，经过湿法研磨得到浆料三； （5）将步骤（4）中得到的浆料三通过喷雾造粒，再进行混料和筛分，得到氧化铟钛钽铈粉末； （6）将步骤（5）所得氧化铟钛钽铈粉末加入模具经过模压和冷等静压后，进行脱脂、烧结，得到氧化铟掺杂钛钽铈靶材； 步骤（2）中所述湿法研磨是指采用卧式砂磨机研磨5~12h，研磨的转速为800~1600rmin；步骤（3）中所述湿法研磨是指采用卧式砂磨机研磨4~10h，研磨的转速为800~1600rmin； 步骤（4）中所述湿法研磨是指采用卧式砂磨机研磨3~7h，研磨的转速为800~1600rmin； 步骤（6）中所述脱脂温度为500~600℃，保温时间为10~15h，升温速率为0.3~0.6℃min；所述烧结温度为1300~1550℃，升温速率为0.3~2℃min，保温时间为4~12h。

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