张玥获国家专利权
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龙图腾网获悉张玥申请的专利一种燃料发射器及含有其的EUV辐射源产生装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116669268B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310554609.2，技术领域涉及：H05G2/00；该发明授权一种燃料发射器及含有其的EUV辐射源产生装置是由张玥设计研发完成，并于2023-05-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种燃料发射器及含有其的EUV辐射源产生装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种燃料发射器及含有其的EUV辐射源产生装置，EUV辐射源产生装置包括收集器、燃料发射器、监控系统、激光器、废料接收管路。本发明中，所述燃料发射器通过泵将燃料运送至两条导线的断口处，实现电路通路，在强磁场作用下，使燃料液滴受安培力作用，沿喷嘴管壁做加速运动被发射出去，并通过监控系统获得燃料液滴飞行轨迹的相关数据，激光器在燃料液滴到达等离子体形成区之前获得相关数据，通过数据分析确定激发激光脉冲的时机，进而实现连续两次的精准击打，使其激发出极紫外光光子，形成的点辐射源经椭球形反射镜反射出收集器顶端的发射口，从而实现EUV辐射源的制备和收集。
本发明授权一种燃料发射器及含有其的EUV辐射源产生装置在权利要求书中公布了：1.一种燃料发射器，其特征在于：包括喷嘴，在喷嘴的内壁上轴向设置有两组导电体，在喷嘴的外壁上对称设置有两根导线，两根导线分别与两组导电体电性连接；还包括磁场发生器，磁场发生器设置在喷嘴的外部且磁场方向垂直于喷嘴和导线；在喷嘴和磁场发生器的外侧设置有外壳，所述喷嘴最外端部分探出外壳外侧；还包括燃料泵，燃料泵的进料端通过绝缘管与燃料储罐相连通，燃料泵的出料端通过绝缘管与喷嘴的进口相连通； 所述导线外侧设置有护管，且导线和护管沿喷嘴径向设置； 所述外壳内壁设有屏磁层，其材料为软铁、硅钢、坡莫合金或软磁铁氧体。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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