武汉大学孙韵韵获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉大学申请的专利一种计算晶圆键合界面接触振动固有频率的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115828469B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211697588.1，技术领域涉及：G06F30/17；该发明授权一种计算晶圆键合界面接触振动固有频率的方法是由孙韵韵;吴兵;巫世晶设计研发完成，并于2022-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种计算晶圆键合界面接触振动固有频率的方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种计算晶圆键合界面接触振动固有频率的方法，包括：S1、测量晶圆的表面形貌，根据测得的轮廓高度分布计算晶圆表面的分形维数和分形粗糙度，获得具有纳观粗糙分形特征的晶圆表面轮廓高度函数；S2、构建纳观尺度上具有光滑轮廓的基体，根据晶圆表面的轮廓高度函数建立具有纳观粗糙分形特征的晶圆键合界面分子动力学模型；S3、模拟晶圆界面的动态键合过程，拟合得到键合力关于晶圆法向变形量的函数关系；S4、将晶圆键合界面的法向接触振动等效为单自由度弹簧质量系统，确定晶圆键合界面接触振动固有频率。本发明考虑了晶圆表面的纳观粗糙分形特征，确定了不同键合力对应的晶圆键合界面固有频率。
本发明授权一种计算晶圆键合界面接触振动固有频率的方法在权利要求书中公布了：1.一种计算晶圆键合界面接触振动固有频率的方法，其特征在于，包括以下步骤： S1、利用原子力显微镜测量晶圆的表面形貌，根据测得的轮廓高度分布计算晶圆表面的分形维数和分形粗糙度，获得具有纳观粗糙分形特征的晶圆表面轮廓高度函数； S2、构建纳观尺度上具有光滑轮廓的基体，根据晶圆表面的轮廓高度函数实现基体表面原子的筛选和删除，从而建立具有纳观粗糙分形特征的晶圆键合界面分子动力学模型； S3、模拟晶圆界面的动态键合过程，获取不同键合力下晶圆表面的等效变形量，拟合得到键合力关于晶圆法向变形量的函数关系； S4、将晶圆键合界面的法向接触振动等效为单自由度弹簧质量系统，求解键合界面非线性振动的微分方程，确定晶圆键合界面接触振动固有频率。
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