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龙图腾网获悉安徽其芒光电科技有限公司申请的专利真空蒸镀成膜装置及其发射机构的调节方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116377397B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211553982.8，技术领域涉及：C23C14/30；该发明授权真空蒸镀成膜装置及其发射机构的调节方法是由郑炳蔚;姜友松;王怀民;顾康鑫;杨运;程序雳;曹欣盛设计研发完成，并于2022-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本真空蒸镀成膜装置及其发射机构的调节方法在说明书摘要公布了：本申请公开一种真空蒸镀成膜装置及其发射机构的调节方法，涉及真空镀膜技术领域。真空蒸镀成膜装置包括发射机构、盛放机构和偏转聚焦机构。发射机构包括灯丝和具有容纳槽的盖板，容纳槽具有底面、开口和侧面；开口的轮廓在底面所在平面上的投影位于底面之外，灯丝设置于底面上；侧面包括相对设置并接入高压负极的第一表面和第二表面，第一方向平行于底面；第一表面和底面之间具有第一夹角，第二表面和底面之间具有第二夹角，第一夹角和或第二夹角可调；偏转聚焦机构包括用于产生磁场的磁铁、用于引导或改变磁场空间分布的导磁组件。本说明书所提供的真空蒸镀成膜装置的发射机构能有效调节电子束光斑的形状和大小，得到形状满足要求的光斑。

本发明授权真空蒸镀成膜装置及其发射机构的调节方法在权利要求书中公布了：1.一种真空蒸镀成膜装置，包括： 用于发射电子束的发射机构，所述发射机构包括通电后能放射电子的灯丝和具有用于容纳所述灯丝的容纳槽的盖板，所述容纳槽具有相对设置的底面和开口、以及围设于所述底面和所述开口之间的侧面；所述开口的轮廓在所述底面所在平面上的投影位于所述底面之外，所述灯丝设置于所述底面上；所述侧面包括在第一方向上相对设置并接入高压负极的第一表面和第二表面，所述第一方向平行于所述底面；所述第一表面和所述底面之间具有第一夹角，所述第二表面和所述底面之间具有第二夹角，所述第一夹角和或所述第二夹角可调； 用于盛放蒸发材料的盛放机构；所述侧面还包括在第二方向上相对设置并接入高压负极的第三表面和第四表面，所述第二方向平行于所述底面且与所述第一方向相垂直；所述第三表面和所述底面之间具有第三夹角，所述第四表面和所述底面之间具有第四夹角，所述第三夹角和或所述第四夹角可调；所述盛放机构的底面所在平面垂直于所述第二方向； 用于将所述电子束约束并聚焦引导至所述盛放机构内的偏转聚焦机构；所述偏转聚焦机构包括用于产生磁场的磁铁、以及用于引导或改变所述磁场空间分布的导磁组件。

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