买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉深圳摩天智能装备有限公司申请的专利一种基于晶圆表面粗糙度测量的滑台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115332150B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211034214.1，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种基于晶圆表面粗糙度测量的滑台是由郝晶晶;唐林;胡倩倩设计研发完成，并于2022-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于晶圆表面粗糙度测量的滑台在说明书摘要公布了：本发明涉及精密电子制造技术领域，并提供了一种基于晶圆表面粗糙度测量的滑台，包括用于精确定位的滑台和滑台上的悬浮夹紧装置，滑台包括底座、第一驱动组件、第二驱动组件、第一滑台和第二滑台，第一驱动组件和第二驱动组件并列设置于底座内，且与底座转动连接，第一驱动组件的活动端设置第一滑台，第一滑台和底座滑动连接，第二驱动组件的活动端设置第二滑台，第二滑台和底座滑动连接，第一滑台和第二滑台上分别设置悬浮夹紧装置，第一滑台和第二滑台相对移动带动悬浮夹紧装置对晶圆进行夹紧；本发明通过第一滑台和第二滑台的相对运动带动悬浮夹紧装置对晶圆进行夹紧和固定；防止夹紧力过大而损伤晶圆本体。

本发明授权一种基于晶圆表面粗糙度测量的滑台在权利要求书中公布了：1.一种基于晶圆表面粗糙度测量的滑台，其特征在于，包括用于精确定位的滑台和滑台上的悬浮夹紧装置，所述滑台包括底座1、第一驱动组件2、第二驱动组件3、第一滑台22和第二滑台32，所述第一驱动组件2和所述第二驱动组件3并列设置于所述底座1内，且与所述底座1转动连接，所述第一驱动组件2的活动端设置所述第一滑台22，所述第一滑台22和所述底座1滑动连接，所述第二驱动组件3的活动端设置所述第二滑台32，所述第二滑台32和所述底座1滑动连接，所述第一滑台22和所述第二滑台32上分别设置所述悬浮夹紧装置4，所述第一滑台22和所述第二滑台32相对移动带动所述悬浮夹紧装置4对晶圆进行夹紧； 所述悬浮夹紧装置4包括磁悬浮底座和悬浮夹紧块，所述第一滑台22和所述第二滑台32上分别设置所述磁悬浮底座，所述磁悬浮底座正上方分别设置所述悬浮夹紧块，所述悬浮夹紧块和所述磁悬浮底座浮动连接，通过所述磁悬浮底座的移动带动所述悬浮夹紧块移动； 所述磁悬浮底座的内部设置电磁悬浮单元，所述电磁悬浮单元用于产生一定磁场力，使所述悬浮夹紧块悬浮在所述磁悬浮底座上； 所述悬浮夹紧块的内部设置有适配于所述电磁悬浮单元的永磁体233，所述悬浮夹紧块的外部设置夹紧单元，所述夹紧单元用于对晶圆的夹紧； 所述夹紧单元包括气囊固定块和柔性夹紧气囊，所述气囊固定块安装于所述悬浮夹紧块的接触晶圆侧，所述气囊固定块上设置柔性夹紧气囊，所述柔性夹紧气囊用于夹紧晶圆的同时防止晶圆变形。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳摩天智能装备有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市宝安区沙井街道坣岗社区中日龙路12号厂房六201；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。