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湖州师范学院常林获国家专利权

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龙图腾网获悉湖州师范学院申请的专利一种多表面干涉测量中腔长反算算法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115615351B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211029024.0,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权一种多表面干涉测量中腔长反算算法是由常林;李兵;于瀛洁设计研发完成,并于2022-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。

一种多表面干涉测量中腔长反算算法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种一种多表面干涉测量中腔长反算算法,该算法包括一个频峰独立采样的方法、一个频率采样折叠腔长反算方法、一个头部周期腔长反算方法。通过对多次不同采样下得到的光强数据进行分析,可以精确地对多表面测量中各干涉谐波的腔长进行反算,该算法容易实现,技术难度较低,方式新颖,计算精度高。

本发明授权一种多表面干涉测量中腔长反算算法在权利要求书中公布了:1.一种多表面干涉测量中腔长反算算法,该算法包括一个频峰独立采样的方法、一个频率采样折叠腔长反算方法、一个头部周期腔长反算方法; 所述的频峰独立采样的方法具体描述为:以当前被测件光学厚度以及初始的N1计算波长调谐量,以XN1为总采样帧数对被测件的干涉图进行采集;以N1为初始参数采集得到的干涉图进行频谱峰值个数判定,具体判定方法为:对以N1为参数采集的各干涉图中的图像中心像素点x0,y0在不同帧数下的光强变化进行DTFT计算并绘制频谱图,若此时频谱中幅值的最大峰值的个数为3个,则将x0,y0点在不同帧数下的光强变化作为频率求解的光强序列;若此时频谱中最大峰值的个数不是3个,则将x0,y0向图像的右上侧移动一个单位,得到的新的像素位置为x0+1,y0+1=x1,y1,再次对x1,y1进行DTFT后的频谱中的频峰个数计算,若此时频谱中最大频峰个数为3个,则将x1,y1点在不同帧数下的光强变化作为频率求解的光强序列,若此时频谱中最大频峰个数不是3个,则将N1加4且N1的值覆盖初始设定的N1,再次进行上述频谱峰值个数判定,直至x1,y1或x0,y0中的最大频峰个数为3个,并将x1,y1或x0,y0中在不同帧数下的光强变化作为频率求解的光强序列; 所述的频率采样折叠腔长反算方法具体描述为:以频峰独立采样所得到的光强序列进行DTFT变换后得到的频谱作为计算目标并记为A1,若A1中各谐波频峰高度在0~π之间从左到右排列的相对高度依次为次高值、最低值和最高值,则当前发生频谱折叠,将参数向量JDM中第一个元素值赋值为2;若A1中各谐波频峰高度在0~π之间从左到右排列的相对高度依次为次高值、最高值和最低值,则当前没发生频谱折叠,将参数向量JDM中第一个元素值赋值为1;参数向量JDM中第一个元素值赋值完成后,以N2=2N1为初始参数计算采样帧数XN2并且计算波长调谐量再次进行干涉图采集,使用所述的频峰独立采样方法得到的频谱记为A2,若A2中各谐波频峰高度在0~π之间从左到右排列的相对高度依次为次高值、最高值和最低值,则将参数向量JDM中第二个元素值赋值为1,否则将参数向量JDM中第二个元素值赋值为2;若JDM中第二个元素值赋值为2、JDM中第一个元素值赋值为1,则记JZD=1;若JDM中第二个元素值赋值为1、JDM中第一个元素值赋值为2,则记JZD=2;若JZD=1,则以A2作为频峰定位目标,将包含着A2中从左至右的频峰对应横坐标向量KP进行KPλ0^24πΔλ的计算得到厚度变化信号、前表面信号和后表面信号的对应腔长值;若JZD=2,则以A2作为频峰定位目标,此时A2中从左至右的三个频峰分别对应的横坐标KP向量中的三个值分别为[KP0,KPA,KPB],以[KP0,abs2πKPA-π+π2π,abs2πKPB-π+π2π]对KP向量进行替换,其中abs表示取正操作,并且对新得到的向量KP进行如下计算:KPλ0^24πΔλ,从而计算得到厚度变化信号、前表面信号和后表面信号的对应腔长值; 所述的头部周期腔长反算方法具体描述为:若J值大于等于4且JDM中各元素值均为1,则判定当前腔长系数M位于0~N1之间,M为被测件前表面之间的距离与测件光学厚度的比值,则以A1频谱进行腔长值的计算,将包含着A1中从左至右的频峰对应横坐标向量KP进行KPλ0^24πΔλ的计算得到厚度变化信号、前表面信号和后表面信号的腔长值。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人湖州师范学院,其通讯地址为:313000 浙江省湖州市吴兴区二环东路759号湖州师范学院;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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