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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利斜置正交激光框架及一体式V型工作台配合的精密测量机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115371554B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211001794.4，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权斜置正交激光框架及一体式V型工作台配合的精密测量机是由赵东方;崔俊宁;边星元;谭久彬设计研发完成，并于2022-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本斜置正交激光框架及一体式V型工作台配合的精密测量机在说明书摘要公布了：斜置正交激光框架及一体式V型工作台配合的精密测量机属于精密测量仪器；本机由主机座、支柱底座、立向支撑柱构成机架；在主机座上可纵、横向移动配装带有V型工作台的横向气浮轴套；纵向激光干涉仪、第一激光干涉仪、第二激光干涉仪发射的测距激光光线正交汇聚至探针测球处，通过结构设计，消除了一阶测量误差；使用激光干涉仪测量角度和位移，在三轴方向获得亚纳米测量精度的同时，使得仪器可以实时补偿测量误差；本发明兼具结构简单和高测量精度的特性，可以实现对微纳米级微器件的超精密测量。

本发明授权斜置正交激光框架及一体式V型工作台配合的精密测量机在权利要求书中公布了：1.一种斜置正交激光框架及一体式V型工作台配合的精密测量机，其特征在于：在支柱底座1-3横向左、右侧部位上分别安装立向支撑柱1-2，轴座1-1支撑配装在立向支撑柱1-2上； 所述支柱底座1-3上端面上可纵向和横向移动地配装横向气浮轴套3-4，在所述支柱底座1-3位于横向气浮轴套3-4横向左、右侧部位上相互对称地固装纵向导轨3-5，所述横向气浮轴套3-4底部和内侧与纵向运动轴3-3接触位置布置有气浮面，横向气浮轴套3-4可横向往复移动地支撑插配在纵向运动轴3-3上，所述纵向运动轴3-3可纵向往复移动地支撑插配在纵向导轨3-5上；在所述轴座1-1上可立向上下移动地插装立轴2-1、在所述立轴2-1下端部上安装吊挂架2-2、探针2-3安装在吊挂架2-2上端； 所述横向气浮轴套3-4上使用支撑板3-2固装V型工作台3-1，所述V型工作台3-1由微晶玻璃制成，V型工作台3-1具有的第一激光反射面3-7、第二激光反射面3-8、纵向激光反射面3-9在空间上呈正交关系； 所述探针2-3位于V型工作台3-1相对的内侧部位处，在吊挂架2-2上安装第一激光干涉仪2-5、第二激光干涉仪2-6、纵向激光干涉仪2-4，所述第一激光干涉仪2-5、第二激光干涉仪2-6、纵向激光干涉仪2-4产生的激光光线分别与V型工作台3-1相对应的三个面垂直，且三束激光光线延长线正交汇集在探针2-3的测球中心； 所述立轴2-1竖直两侧，靠近探针2-3的一端分别开设固定槽4-7，缓冲气缸4-3由缓冲气缸固定块4-4固定安装于所述立向连接孔4-5内壁，且缓冲气缸4-3的伸缩端连接所述固定槽4-7内壁； 所述轴座1-1沿竖直方向开设有贯穿的立向连接孔4-5，所述立向连接孔4-5内壁开设有安装槽4-6； 立轴纳米电机4-2安装于所述安装槽4-6内，所述立轴纳米电机4-2输出轴沿直线移动，且可带动立轴驱动面4-1沿竖直方向滑动。

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