哈尔滨工业大学崔俊宁获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利基于框架式激光测量基准的大行程高精度形位误差测量仪获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115371555B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211003630.5,技术领域涉及:G01B11/00;该发明授权基于框架式激光测量基准的大行程高精度形位误差测量仪是由崔俊宁;赵东方;边星元;谭久彬设计研发完成,并于2022-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于框架式激光测量基准的大行程高精度形位误差测量仪在说明书摘要公布了:本发明涉及一种基于框架式激光测量基准的大行程高精度形位误差测量仪,属于精密测量设备技术领域,包括主机座和立向支撑柱,两根立向支撑柱的顶部设置有轴座;主机座上侧设置有样品固配座,主机座上设置有移动机构;样品固配座上端面设置有横向激光反射镜、纵向激光反射镜和立向激光反射镜;立轴下端面安装有吊挂架,吊挂架下端设置有横向激光干涉仪、纵向激光干涉仪和立向激光干涉仪。通过采用上述方案,能够适应和满足对形状复杂零件尺寸及形位误差的微纳米级精密测量使用。
本发明授权基于框架式激光测量基准的大行程高精度形位误差测量仪在权利要求书中公布了:1.一种基于框架式激光测量基准的大行程高精度形位误差测量仪,其特征在于:包括主机座100,在所述主机座100的左右两侧设置有立向支撑柱200,两根所述立向支撑柱200的顶部设置有轴座300;左侧立向支撑柱200开设有安装空间,可容纳探针组件600;所述主机座100开设有通孔; 所述主机座100上侧且位于两根立向支撑柱200之间设置有横向纵向移动机构400,反射镜模块500固连于横向纵向移动机构400中纵向运动块410左侧端部;纵向运动块410可纵向往复运动的套装于纵向导轨420上,所述纵向导轨420可横向往复运动的安装于横向导轨430内; 所述轴座300上沿竖直方向滑动设置有立轴710;所述轴座300上设置有控制所述立轴710沿竖直方向移动的立轴纳米电机720;所述立轴710竖直两侧,靠近探针组件600的一端分别开设固定槽770,缓冲气缸730由气缸固定块740固定安装于所述立向连接孔750内壁,且缓冲气缸730的伸缩端连接所述固定槽770内壁;所述立轴710下端面设置有探针组件600; 所述反射镜模块500由一整块微晶玻璃制成,反射镜模块500左侧面设置为横向激光反射镜520,后侧面设置为纵向激光反射镜530,底面设置为立向激光反射镜510,回转轴550配装于反射镜模块500内侧,回转轴550端面与样品固配面540在同一平面;所述立向激光反射镜510、横向激光反射镜520、纵向激光反射镜530相互垂直; 所述探针组件600由立向激光干涉仪610、横向激光干涉仪620、纵向激光干涉仪630、探针640及吊挂架650组成,所述探针640安装于吊挂架650上,在吊挂架650上固装立向激光干涉仪610、横向激光干涉仪620和纵向激光干涉仪630;立向激光干涉仪610、横向激光干涉仪620和纵向激光干涉仪630产生测距光线正交汇聚于探针640测头处;立向激光干涉仪610、横向激光干涉仪620、纵向激光干涉仪630产生光线分别与立向激光反射镜510、横向激光反射镜520、纵向激光反射镜530垂直; 所述轴座300沿竖直方向开设有贯穿的立向连接孔750,所述立向连接孔750内壁开设有安装槽760;立轴纳米电机720安装于所述安装槽760内,所述立轴纳米电机720输出轴沿直线移动,且可带动所述立轴710沿竖直方向滑动。
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