西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司陈海龙获国家专利权
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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司申请的专利晶圆清洗装置和晶圆清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114999967B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210771203.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆清洗装置和晶圆清洗方法是由陈海龙;李在桓;陈光林;曲迪;张迪设计研发完成，并于2022-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆清洗装置和晶圆清洗方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种晶圆清洗装置，包括：清洗槽，容纳有清洗液；晶圆夹持结构，用于夹持晶圆，包括连接杆和至少位于连接杆相对的两侧的两个夹持杆，一个夹持杆靠近另一个夹持杆的一面设置有夹持槽，夹持槽包括与连接杆相平行的连接面，和与连接面连接的夹持面，夹持面位于连接面远离连接杆的一侧，且夹持面为由连接面的一端向远离连接杆的方向延伸设置的斜面；移动结构，用于控制晶圆夹持结构进行升降运动，以使得晶圆夹持结构夹持的晶圆浸没于清洗槽内容纳的清洗液中；旋转结构，用于在晶圆浸没于清洗液内时，控制晶圆夹持结构旋转，以带动清洗液旋转，使得晶圆夹持结构与晶圆之间具有间隙。本发明还涉及一种晶圆清洗方法。
本发明授权晶圆清洗装置和晶圆清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括： 清洗槽，容纳有清洗液； 晶圆夹持结构，用于夹持晶圆，包括连接杆和至少位于所述连接杆相对的两侧的两个夹持杆，一个所述夹持杆靠近另一个所述夹持杆的一面设置有夹持槽，所述夹持槽包括与所述连接杆相平行的连接面，和与所述连接面连接的夹持面，所述夹持面位于所述连接面远离所述连接杆的一侧，且所述夹持面为由所述连接面的一端向远离所述连接杆的方向延伸设置的斜面； 移动结构，用于控制所述晶圆夹持结构进行升降运动，以使得所述晶圆夹持结构夹持的晶圆浸没于所述清洗槽内容纳的清洗液中； 旋转结构，用于在晶圆浸没于所述清洗液内时，控制所述晶圆夹持结构旋转，以带动所述清洗液旋转，在清洗液的旋转作用下，使得所述晶圆与所述夹持槽之间产生间隙。
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