江苏亚电科技有限公司钱诚获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏亚电科技有限公司申请的专利一种晶圆干燥设备摆动机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115218627B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210713995.0，技术领域涉及：F26B11/18；该发明授权一种晶圆干燥设备摆动机构是由钱诚;李刚;周志勇设计研发完成，并于2022-06-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆干燥设备摆动机构在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆干燥设备摆动机构，内定位块起到了定位两个侧限位块距离，为顶块提供安装位置，内定位块和顶块悬浮于容纳座中间镂空部分之上，中空的侧限位块、内定位块、顶块形成一整套安装结构，具有安装定位功能，安装简便，结构强度较高的优点，同时还不阻碍干燥气体的流动，提高了干燥效果。
本发明授权一种晶圆干燥设备摆动机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆干燥设备摆动机构，其特征在于，包括： 具有水平滑轨的顶部安装板31，设置在顶部安装板上的驱动件33，滑动设置在水平滑轨上的能够在驱动件33驱动下沿水平滑轨移动的滑动安装块34，安装在滑动安装块34上的拱形滑动臂32，拱形滑动臂32上安装有容纳座36，驱动件33工作时能够带动拱形滑动臂32连同容纳座36摆动； 所述容纳座36，用于容纳晶圆盒9，包括与拱形滑动臂32连接的中间镂空的底座360，安装在底座360上的用于对晶圆盒的两侧分别进行限位的侧限位块361和位于侧限位块361之间的顶块363，所述侧限位块361中间为中空，两个所述侧限位块361的中空部分的内壁上具有相对设置的凸起，所述容纳座36还包括内定位块362； 所述内定位块362的两端分别与所述侧限位块361的凸起连接，且连接点分布在内定位块362宽度方向的两侧，所述顶块363安装于内定位块362长度方向的两边； 所述内定位块362中间具有兼具降低重量和供气体通过作用的减材通孔； 侧限位块361的顶面为斜面； 所述顶块363的顶面为斜面。
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