买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉天津大学申请的专利一种可实现光束偏移补偿的原子力显微镜测头获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115032421B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210662814.6，技术领域涉及：G01Q60/24；该发明授权一种可实现光束偏移补偿的原子力显微镜测头是由张锐;吴森设计研发完成，并于2022-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种可实现光束偏移补偿的原子力显微镜测头在说明书摘要公布了：本发明公开了一种可实现光束偏移补偿的原子力显微镜测头，该测头包含扫描模块、光杠杆检测模块、光学显微镜模块、悬臂梁探针，扫描模块由一个三维平板扫描机构和一个Z向扫描器组成，光杠杆检测模块将激光分成两束偏振光，一束用于检测扫描机构的位移，另一束用于检测悬臂梁的形变，将两束光的光斑位置相减可得到无偏移误差的悬臂梁形变量，有利于提高大范围扫描时的测量准确性，光学显微镜模块与光杠杆检测模块相互独立，互不干扰，并且光杠杆检测模块中的一部分元件设置在扫描模块的外部，可降低扫描机构的负载，提高扫描速度。

本发明授权一种可实现光束偏移补偿的原子力显微镜测头在权利要求书中公布了：1.一种可实现光束偏移补偿的原子力显微镜测头装置，包括扫描模块、光杠杆检测模块、光学显微镜模块、悬臂梁探针，其特征在于，光杠杆检测模块包括第一光电探测器、第二光电探测器、偏振分光棱镜以及会聚透镜，第一光电探测器和第二光电探测器均设置在扫描模块的外部，偏振分光棱镜将激光光束分成两束光，其中一束光经会聚透镜会聚后射向悬臂梁，再经反射后投射到第一光电探测器，另一束光射向第二光电探测器，投射到第一光电探测器和第二光电探测器的两束光相互平行，将两个光电探测器输出的电信号相减得到无光束偏移误差的悬臂梁形变量，悬臂梁探针沿Z向形变引起的电压变化Δvd可表示成：悬臂梁探针沿Y方向形变引起的电压变化Δvt可表示成：其中，vs0、vz0、vx0分别为悬臂梁探针未发生形变时第一光电探测器上的光斑光强、光斑在Z方向上的位置、光斑在X方向上的位置所对应的电压，v's0、v'z0、v'x0分别为悬臂梁探针未发生形变时第二光电探测器上的光斑光强、光斑在Z方向上的位置、光斑在X方向上的位置所对应的电压；vz1、vx1分别为悬臂梁探针扫描过程中当悬臂梁发生形变时第一光电探测器上的光斑在Z方向和X方向上的位置所对应的电压，v'z1、v'x1分别悬臂梁探针扫描过程中当悬臂梁发生形变时第二光电探测器上的光斑在Z方向和X方向上的位置所对应的电压。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人天津大学，其通讯地址为：300072 天津市南开区卫津路92号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。