株式会社尤金科技宋炳奎获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社尤金科技申请的专利衬底转移装置以及具有衬底转移装置的衬底处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115206855B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210371652.0，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权衬底转移装置以及具有衬底转移装置的衬底处理设备是由宋炳奎;高炯植;裵亨焕;玄俊鎭设计研发完成，并于2022-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底转移装置以及具有衬底转移装置的衬底处理设备在说明书摘要公布了：本公开涉及一种用于对末端执行器的偏转进行感测的衬底转移装置以及具有衬底转移装置的衬底处理设备。所述衬底转移装置包括：末端执行器，在第一方向上延伸且对衬底进行支撑；末端执行器握手，与末端执行器的在第一方向上的一个侧连接；水平移动单元，与末端执行器握手连接且使末端执行器在第一方向上移动；以及偏转感测单元，包括光发射部件及光接收部件且对末端执行器的偏转进行感测，所述光发射部件及所述光接收部件分别设置在末端执行器的移动路径的两侧处。
本发明授权衬底转移装置以及具有衬底转移装置的衬底处理设备在权利要求书中公布了：1.一种衬底转移装置，包括： 末端执行器，在第一方向上延伸且被配置成对衬底进行支撑； 末端执行器握手，与所述末端执行器的在所述第一方向上的一个侧连接； 水平移动单元，与所述末端执行器握手连接且被配置成使所述末端执行器在所述第一方向上移动；以及 偏转感测单元，包括光发射部件及光接收部件且被配置成对所述末端执行器的偏转进行感测，所述光发射部件及所述光接收部件分别设置在所述末端执行器的移动路径的两侧处， 其中所述水平移动单元包括支撑板，所述支撑板在所述第一方向上延伸以提供由所述末端执行器握手的运行引起的所述末端执行器的所述移动路径，且 所述光发射部件及所述光接收部件分别连接到所述支撑板的在与所述第一方向交叉的第二方向上的两侧且由所述支撑板进行支撑， 所述光发射部件照射距处于水平状态的所述末端执行器的底表面具有最小距离的直射光，所述最小距离是所述末端执行器的厚度的20％或多于20％。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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