广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院李鹏飞获国家专利权
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龙图腾网获悉广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院申请的专利一种模板钝化的工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114261039B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111661979.3，技术领域涉及：B29C33/38；该发明授权一种模板钝化的工艺是由李鹏飞;杜有成;何益多;李晓军设计研发完成，并于2021-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种模板钝化的工艺在说明书摘要公布了：本申请属于纳米压印技术领域，尤其涉及一种模板钝化的工艺。本申请提供了一种模板的钝化工艺，包括以下步骤：将模板放置在钝化装置内，对所述钝化装置持续通入气化氟代氯硅烷，对所述模板进行钝化反应，得到钝化后的模板；其中，所述氟代氯硅烷的气体流速为1μLmin～5μLmin。其中，可通过等温控制氟代氯硅烷气体流速的方式，在钝化腔中的气化的氟代氯硅烷可持续稳定对模板进行适度的钝化，使得模板表面钝化均匀和致密。本申请提供了一种模板钝化的工艺，有效解决现有钝化过程中存在的模板表面钝化的不均匀和不致密的技术问题。
本发明授权一种模板钝化的工艺在权利要求书中公布了：1.一种模板的钝化工艺，其特征在于，包括以下步骤： 将模板放置在钝化装置内，所述钝化装置内有液态氟代氯硅烷，然后以预置的升温速率对所述钝化装置进行加热，使得位于所述钝化装置内的所述氟代氯硅烷不断气化，进而使所述模板进行钝化反应；其中，液态的所述氟代氯硅烷不与所述模板接触； 所述氟代氯硅烷的气体流速为1μLmin～5μLmin。
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