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山东科技大学袁方获国家专利权

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龙图腾网获悉山东科技大学申请的专利一种Cu掺杂的TixOy薄膜忆阻器及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114242888B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111436790.4,技术领域涉及:H10N70/00;该发明授权一种Cu掺杂的TixOy薄膜忆阻器及制备方法是由袁方;李玉霞;李少岩;邓玥;张鹏设计研发完成,并于2021-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种Cu掺杂的TixOy薄膜忆阻器及制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种Cu掺杂的TixOy薄膜忆阻器的制备方法,属于半导体薄膜领域。该忆阻器自下而上依次为衬底、下电极、阻变层和上电极,阻变层材料采用TixOy掺入Cu的TixOy‑Cuz薄膜。TixOy薄膜中掺入Cu是由于Cu作为一种过渡金属,其离子半径与TixOy中Ti离子的半径相近,TixOy掺入Cu后,TixOy的能带能够包含Cu的能带边缘,有利于捕获TixOy激发出的光生电子,从而改变TixOy薄膜忆阻器的性能;此方法制备的忆阻器具有性能稳定、重复性好等优点,在未来半导体薄膜领域具有很好的应用前景。

本发明授权一种Cu掺杂的TixOy薄膜忆阻器及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种Cu掺杂的TixOy薄膜忆阻器,其特征在于,自下而上依次设置为衬底、下电极、阻变层、上电极,阻变层材料采用TixOy掺入Cu的TixOy-Cuz薄膜,在TixOy-Cuz中1x5,2y7,0.2z0.6;下电极的厚度为100nm~200nm,上电极的厚度为20nm~100nm,阻变层的厚度为100nm~700nm。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人山东科技大学,其通讯地址为:266590 山东省青岛市黄岛区前湾港路579号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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