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中国科学院金属研究所刘鲁生获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院金属研究所申请的专利一种可变尺寸的高功率微波等离子体化学气相沉积设备偏压样品台获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114107956B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111424381.2,技术领域涉及:C23C16/458;该发明授权一种可变尺寸的高功率微波等离子体化学气相沉积设备偏压样品台是由刘鲁生;姜辛;黄楠;翟朝峰;杨兵设计研发完成,并于2021-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。

一种可变尺寸的高功率微波等离子体化学气相沉积设备偏压样品台在说明书摘要公布了:本发明金刚石膜生长领域,尤其涉及一种可变尺寸的高功率微波等离子体化学气相沉积设备偏压样品台。该样品台的基片放置在钼台的顶部凹槽内,钼台的底部中心沿竖向安装钼螺栓,上下相对水平设置的样品台支座、样品台陶瓷板,与左右相对设置的左L型立板、右L型涉及立板组合为长方体框架结构,钼台通过钼螺栓固定在水平设置的样品台陶瓷板上,样品台支座通过竖向设置的支撑螺栓固定在腔室底板上,直流电源依次通过电源线、航空密封接头、高温导线、钼螺栓与钼台相连接。本发明解决了微波法化学气相沉积金刚石薄膜沉积过程中反应腔体内基片表面增加负偏压电场的均匀性问题,制备出均匀性好、纯度高、结晶形态好的高质量金刚石单晶膜。

本发明授权一种可变尺寸的高功率微波等离子体化学气相沉积设备偏压样品台在权利要求书中公布了:1.一种可变尺寸的高功率微波等离子体化学气相沉积设备偏压样品台,其特征在于,该样品台包括:支撑螺栓、样品台支座、样品台陶瓷板、钼螺栓、钼台、基片、左L型立板、右L型立板,具体结构如下: 针对不同尺寸的基片设计相应尺寸的钼台,基片放置在钼台的顶部凹槽内,钼台的底部中心沿竖向安装钼螺栓,上下相对水平设置的样品台支座、样品台陶瓷板,与左右相对设置的左L型立板、右L型立板组合为长方体框架结构,钼台通过钼螺栓固定在水平设置的样品台陶瓷板上,样品台支座通过竖向设置的支撑螺栓固定在腔室底板上; 长方体框架结构及样品台陶瓷板、钼螺栓、钼台、基片设置于反应腔室中,从上到下依次设置的腔室上盖、密封绝缘垫、腔室壳体、腔室底板组成反应腔室,腔室壳体设置于腔室底板上,腔室壳体的顶部安装腔室上盖,腔室壳体与腔室上盖之间通过密封绝缘垫密闭连接; 反应腔室的腔室上盖物理接地作为零点电位,直流偏压电源的正极依次通过电源线、航空密封接头、高温导线、钼螺栓与钼台相连接,直流偏压电源的负极通过电源线物理接地作为零点电位与反应腔室的腔室上盖形成回路,直流偏压电源为-500~0V的可调负偏压电源; 钼螺栓为钼螺栓杆、钼螺栓上端头、钼螺栓上平板同轴一体的组合结构,钼螺栓杆的顶部为钼螺栓上平板,钼螺栓上平板的顶部为钼螺栓上端头,钼台的底部中心设有螺纹孔,钼螺栓通过钼螺栓上端头与钼台底部中心的螺纹孔通过螺纹连接,钼螺栓上平板位于样品台陶瓷板顶部中心的凹槽内,样品台陶瓷板中心设有通孔,钼螺栓杆穿设于样品台陶瓷板,钼螺栓上依次安装片状螺母、导线上夹持螺栓、高温导线一端、导线下夹持螺栓,片状螺母与钼螺栓通过螺纹连接并固定于样品台陶瓷板底部,导线上夹持螺栓与钼螺栓通过螺纹连接并固定于片状螺母底部,导线下夹持螺栓与钼螺栓通过螺纹连接,高温导线一端套在钼螺栓上且通过导线上夹持螺栓、导线下夹持螺栓夹紧固定,高温导线另一端与航空密封接头连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院金属研究所,其通讯地址为:110016 辽宁省沈阳市沈河区文化路72号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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