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龙图腾网获悉深圳市矽谷半导体设备有限公司申请的专利一种伺服驱动双摆臂装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113990785B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111332877.7，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种伺服驱动双摆臂装置是由陈勇伶设计研发完成，并于2021-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种伺服驱动双摆臂装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种伺服驱动双摆臂装置，包括摆臂旋转控制装置以及摆臂垂直上下控制机构，其中摆臂旋转控制装置包括一内设有气路的旋转轴，旋转轴通过同轴器连接有一旋转伺服电机；摆臂垂直上下控制机构包括设于旋转轴的底部的摆臂中座，摆臂中座的前后两侧分别上下滑动安装有一摆臂组件，摆臂组件传动连接有升降伺服电机，升降伺服电机与所述控制装置信号连接。与现有技术相比，轻量化的旋转轴降低了旋转惯性，提高摆臂的动作精准度，用伺服电机驱动降低成本，由气动滑环组成的气路结构降低气管对摆臂高速运动的影响，杜绝传统气路连接方式对摆臂的拉扯，提高摆臂整定和精度。

本发明授权一种伺服驱动双摆臂装置在权利要求书中公布了：1.一种伺服驱动双摆臂装置，其特征在于：包括控制装置、转轴座（41）、旋转连接于转轴座（41）的旋转轴（20）以及固定在转轴座（41）顶部的旋转伺服电机（1），旋转伺服电机（1）与控制装置电连接，旋转伺服电机（1）的输出轴与旋转轴（20）之间同轴连接设置；旋转轴（20）的底部设有一摆臂中座，摆臂中座的前后两侧分别上下滑动安装有一摆臂组件，摆臂组件传动连接有升降伺服电机，升降伺服电机与所述控制装置信号连接； 所述旋转轴（20）的中上部套设有一气路滑环组件（412），气路滑环组件（412）包括上下同轴旋转设置的固定滑环（4121）以及旋转滑环（4122），其中，固定滑环（4121）固定于所述转轴座，固定滑环（4121）开设有外接气压装置的气压接入口；旋转滑环（4122）同轴连接于所述旋转轴（20），旋转滑环（4122）的上表面开设有气槽，气槽沿圆周方向闭合设置，固定滑环（4121）的下表面与旋转滑环（4122）的上表面气密配合，并且气槽与固定滑环（4121）的下表面盖合形成旋转气路，旋转滑环（4122）的侧部开设有连接所述摆臂组件的气压接出通口，气压接入口与气压接出通口分别连通旋转气路； 所述转轴座（41）的内部固定有至少一个转轴轴承（411），所述旋转轴（20）分别串接于各转轴轴承（411），旋转轴（20）的顶端与所述旋转伺服电机（1）的输出轴之间连接有一联轴器（410）； 第一外接口（4001）和第二外接口（4003）分别通过气管连接两侧的第一摆臂（31）和第二摆臂（32），并实现第一摆臂（31）和第二摆臂（32）的独立升降动作。

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