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龙图腾网获悉江苏匠岭半导体有限公司申请的专利晶圆膜厚实时测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113964052B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111232124.9，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权晶圆膜厚实时测量装置是由叶薇薇设计研发完成，并于2021-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆膜厚实时测量装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆膜厚实时测量装置，包括光学测量模块、传动模块、数据分析模块；光学测量模块被配置成：从第一光源、第二光源发射的光束经由分光器件合束后形成第一光路，第一光路经由反射器件被引到物镜，物镜将光束聚焦到晶圆表面；第一光路由晶圆表面激发反射回物镜中形成第二光路，第二光路经由反射器件被引到接收端；传动模块包括光学传动单元、晶圆传动单元；数据分析模块用于获取从接收端得到的光学信息，以计算处理后得到晶圆表面薄膜信息。本发明可同时实现测量、成像实时监控，整体结构紧凑，集成度高，可对晶圆膜厚、晶圆表面微结构和整体弯曲度等性能指标进行精确、快速测量，能涵盖大部分半导体制造商对晶圆测量的需求。

本发明授权晶圆膜厚实时测量装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆膜厚实时测量装置，其特征在于，该测量装置包括光学测量模块、传动模块、数据分析模块；其中： 所述光学测量模块包括： 第一光源和第二光源，分别用于提供测量和成像需要的光束； 分光器件，设置为多个，用于分光束与合光束； 反射器件，设置为多个，用于将光束导入光路中； 物镜，用于将光路垂直入射晶圆表面并形成可在晶圆表面移动的聚焦光斑； 接收端，用于获取从晶圆表面激发反射回的光学信息，所述接收端包括图像传感单元和光谱探测单元； 管镜透镜，用于光束的调节对焦以进行对准和测量补偿； 所述光学测量模块被配置成：从第一光源、第二光源发射的光束经由分光器件合束后形成第一光路，第一光路经由管镜透镜、反射器件被引到物镜，物镜将光束聚焦到晶圆表面；第一光路由晶圆表面激发反射回物镜中形成第二光路，第二光路经由反射器件被引到接收端；所述光学测量模块中的第二光路被引到分光器件中，分光器件将第二光路分束成两束，其中一束被图像传感单元探测，用于获得图像信号信息，以观察和对准光斑，另一束经由反射器件被引到光谱探测单元，用于探测晶圆反射光束的反射光谱信息； 所述传动模块包括： 光学传动单元，光学传动单元配置成至少对光学测量模块中的管镜透镜及物镜进行传动以共同进行对准和测量的补偿； 晶圆传动单元，用于装载晶圆并带动所述晶圆旋转或旋转加平移； 数据分析模块用于获取从接收端得到的光学信息，以计算处理后得到晶圆表面薄膜信息。

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