买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利用于评估半导体设备生产能力的方法及其装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115705543B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110924495.7，技术领域涉及：G06Q10/0639；该发明授权用于评估半导体设备生产能力的方法及其装置是由王剑平;王晓;朱志翔;宁泽宇;操津津设计研发完成，并于2021-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于评估半导体设备生产能力的方法及其装置在说明书摘要公布了：本申请实施例涉及半导体制造领域，提供一种用于评估半导体设备生产能力的方法及其装置，方法包括：获取所有工艺机台当前批次生产结束与当前批次的前一批次生产结束的时间间隔；获取数据中有效的数据作为有效数据；获取至少两个初始数据组；基于初始数据组获取第一数据组；对第一数据组中的数据进行排序处理以构成第一队列数据组，且获取第一队列数据组中的数据的标准差；基于第一队列数据组和标准差获取第二队列数据组；基于所有第二队列数据组中的数据，获取最小有效数据和最大有效数据；基于最小有效数据和最大有效数据，获取半导体设备生产能力。本申请实施例有利于提高评估的半导体设备生产能力的准确性。

本发明授权用于评估半导体设备生产能力的方法及其装置在权利要求书中公布了：1.一种用于评估半导体设备生产能力的方法，所述半导体设备包括不同类型的工艺机台，其特征在于，包括： 利用所有所述工艺机台对N个批次的晶圆进行生产处理，且获取所有所述工艺机台的数据，所述数据为所述工艺机台当前批次生产结束与当前批次的前一批次生产结束的时间间隔； 获取所述数据中有效的数据作为有效数据； 获取至少两个初始数据组，每一所述初始数据组中的数据为同种类型的所述工艺机台生产同种产品且进行同一工艺步骤时各批次的所述有效数据； 基于所述初始数据组，获取第一数据组，所述第一数据组中的数据为所述初始数据组中所述工艺机台中的全部腔室均处于工作状态对应的所述有效数据； 对所述第一数据组中的数据进行排序处理，以构成第一队列数据组，且获取所述第一队列数据组中的数据的标准差； 基于所述第一队列数据组和所述标准差，获取第二队列数据组，所述第二队列数据组为，当所述第一队列数据组中相邻前后数据的差值偏离所述标准差时，去除所述前后数据中的后一数据后剩下的数据排序构成； 基于所有所述第二队列数据组中的数据，获取最小有效数据和最大有效数据； 基于所述最小有效数据和所述最大有效数据，获取半导体设备生产能力。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人长鑫存储技术有限公司，其通讯地址为：230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。