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龙图腾网获悉深圳市森美协尔科技有限公司申请的专利一种晶圆自动上料装置及上料检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113658898B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110893598.1，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆自动上料装置及上料检测方法是由刘世文;陈亮;刘艺设计研发完成，并于2021-08-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆自动上料装置及上料检测方法在说明书摘要公布了：本申请涉及自动上料装置领域，更具体地说，它涉及一种晶圆自动上料装置及上料检测方法，其包括设置在机架上的晶圆盒安装组件、开盖机构和取料机构，用于打开储料盒的开盖机构位于晶圆盒安装组件的一侧，用于运载晶圆的取料机构位于开盖组件背离晶圆盒安装组件的一侧；上料装置还包括有设置在取料机构上的校准机构，校准机构包括升降组件、转动组件、吸附组件和检测组件，升降组件与取料机构连接，转动组件与升降组件连接，吸附组件与带动其沿竖直方向移动的升降组件连接，吸附组件与带动其转动的转动组件连接，检测组件设置在机架上，检测组件位于吸附组件上方。本申请具有提高检测效率的效果。

本发明授权一种晶圆自动上料装置及上料检测方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆自动上料装置，其特征在于，包括设置在机架2上的晶圆盒安装组件3、开盖机构4和取料机构5，用于打开储料盒1的所述开盖机构4位于晶圆盒安装组件3的一侧，用于运载晶圆的所述取料机构5位于开盖机构4背离晶圆盒安装组件3的一侧； 所述上料装置还包括有设置在取料机构5上的校准机构7，所述校准机构7包括升降组件71、转动组件72、吸附组件73和检测组件74，所述升降组件71与取料机构5连接，所述转动组件72与升降组件71连接，所述吸附组件73与带动其沿竖直方向移动的升降组件71连接，所述吸附组件73与带动其转动的转动组件72连接，所述检测组件74设置在机架2上，所述检测组件74位于吸附组件73上方； 开盖机构4包括移动座41和用于锁定大晶圆盒12盒盖的移动板42，所述移动座41沿竖直方向滑动连接于机架2，所述移动板42沿水平方向滑动连接于移动座41； 所述移动板42背离储料盒1的侧面设置有扫描组件6，所述扫描组件6包括第一驱动件61、转动框62和检测传感器63，所述第一驱动件61设置在移动座41上，所述转动框62转动连接于移动板42，所述转动框62与推动其转动至伸入或伸出储料盒1的第一驱动件61连接，所述检测传感器63设置在转动框62上。

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