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广东德力光电有限公司武杰获国家专利权

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龙图腾网获悉广东德力光电有限公司申请的专利一种高一致性的Micro LED芯片及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112951966B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110278339.8,技术领域涉及:H10H20/831;该发明授权一种高一致性的Micro LED芯片及其制作方法是由武杰;易翰翔;郝锐;李玉珠;吴光芬设计研发完成,并于2021-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。

一种高一致性的Micro LED芯片及其制作方法在说明书摘要公布了:本发明涉及MicroLED芯片技术领域,公开了一种高一致性的MicroLED芯片,包括衬底和设于衬底上的GaN基外延片,GaN基外延片自下而上依次设有N型GaN层、发光量子阱层和P型GaN层,N型GaN层上镀设有N型电极层,P型GaN层上镀设有P型电极层,GaN基外延片设有多个纵横交错分布的隔离槽,隔离槽将GaN基外延片划分为多个矩阵阵列布置的发光单元,隔离槽位于N型GaN层的上方且裸露N型GaN层的顶面,隔离槽内的N型GaN层的裸露顶面镀设有与N型电极层一体成型的内置N型电极层,内置N型电极层的侧边与发光单元相隔。同时本发明还公开了该芯片的制作方法,采用本发明,内置N型电极层的设置使电流在N型GaN层扩散时均匀分布,从而确保各发光单元发光时的亮度保持一致。

本发明授权一种高一致性的Micro LED芯片及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种高一致性的MicroLED芯片的制作方法,其特征在于: 该高一致性的MicroLED芯片包括衬底和设于所述衬底上的GaN基外延片,所述GaN基外延片自下而上依次设有N型GaN层、发光量子阱层和P型GaN层,所述N型GaN层上镀设有N型电极层,所述P型GaN层上镀设有P型电极层,其特征在于:所述GaN基外延片设有多个纵横交错分布的隔离槽,所述隔离槽将所述GaN基外延片划分为多个矩阵阵列布置的发光单元,所述隔离槽位于所述N型GaN层的上方且裸露所述N型GaN层的顶面,所述隔离槽内的所述N型GaN层的裸露顶面镀设有与所述N型电极层一体成型的内置N型电极层,所述内置N型电极层的侧边与所述发光单元相隔,所述内置N型电极层的高度与所述发光量子阱层持平; 该高一致性的MicroLED芯片的制作方法包括以下步骤: (1)、制作GaN基外延片,利用MOCVD设备在衬底上自下而上依次沉积出N型GaN层、发光量子阱层和P型GaN层,形成GaN基外延片; (2)、在所述GaN基外延片上刻蚀出多个纵横交错分布的隔离槽,使N型GaN层的顶面裸露,同时将所述GaN基外延片划分为多个矩阵阵列布置的发光单元; (3)、在所述N型GaN层上镀设N型电极层和内置N型电极层,其中所述内置N型电极层设于所述隔离槽内且所述N型电极层的侧边与所述发光单元相隔; (4)、在所述发光单元的所述P型GaN层上镀设ITO层; (5)、在所述发光单元上沉积一层SiO2材质的保护层,其中所述保护层将所述内置电极层包覆; (6)、在所述保护层上刻蚀出使所述ITO层露出的P导电通道; (7)、在所述导电通道内蒸镀上P型电极层。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广东德力光电有限公司,其通讯地址为:529000 广东省江门市江海区彩虹路1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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