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龙图腾网获悉常州捷佳创精密机械有限公司申请的专利用于PECVD设备的加热装置、真空镀膜设备和加热方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112951744B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110240995.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于PECVD设备的加热装置、真空镀膜设备和加热方法是由左国军;梁建军;朱海剑设计研发完成，并于2021-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于PECVD设备的加热装置、真空镀膜设备和加热方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种用于PECVD设备的加热装置、真空镀膜设备和加热方法，加热装置包括：真空腔体；装载组件，设置在真空腔体内，装载组件用于装载待加热件；加热组件，至少部分设置在真空腔体内，加热组件包括辐射源，辐射源与真空腔体转动连接，且与装载组件对应设置；其中，加热组件通过辐射源对待加热件进行辐射加热。本发明的技术方案中，由于辐射源与真空腔体转动连接，这样使得辐射源具有旋转功能，能够调整辐射源的热辐射角度，从而增加其热辐射的范围和热辐射的均匀性，实现了对硅片的动态加热和均匀加热，进而使得硅片在加热时的整体温度更加均匀，保证了良好的工艺效果。

本发明授权用于PECVD设备的加热装置、真空镀膜设备和加热方法在权利要求书中公布了：1.一种用于PECVD设备的加热装置（100），其特征在于，所述加热装置（100）包括： 真空腔体（10）； 装载组件（20），设置在所述真空腔体（10）内，所述装载组件（20）用于装载待加热件（200）； 加热组件（30），至少部分设置在所述真空腔体（10）内，所述加热组件（30）包括辐射源（32），所述辐射源（32）与所述真空腔体（10）转动连接，且与所述装载组件（20）对应设置； 其中，所述加热组件（30）通过所述辐射源（32）对所述待加热件（200）进行辐射加热； 所述加热装置（100）还包括驱动组件（40），所述驱动组件（40）与所述加热组件（30）连接，所述驱动组件（40）能够驱动所述辐射源（32）转动； 所述加热组件（30）还包括石英管（34），所述辐射源（32）为红外灯管，所述石英管（34）沿第一方向插设在所述真空腔体（10）上，所述辐射源（32）沿所述第一方向插设在所述石英管（34）内，所述辐射源（32）能够相对于所述石英管（34）转动； 所述驱动组件（40）包括： 驱动部（42）； 传动部（44），与所述驱动部（42）和所述辐射源（32）连接； 其中，所述驱动部（42）用于驱动所述传动部（44）动作，以带动所述辐射源（32）转动； 所述驱动部（42）包括： 电机（422），设置在所述真空腔体（10）上； 转动块（424），与所述电机（422）和所述传动部（44）连接； 所述转动块（424）具有第一端（4242）和与所述第一端（4242）相对设置的第二端（4244），所述传动部（44）包括： 固定块（442），设置有安装孔； 接线端头（444），至少部分固定设置在所述安装孔内，所述接线端头（444）与所述辐射源（32）伸出所述石英管（34）的一端固连； 第一连接杆（446），与所述第一端（4242）和所述固定块（442）的一端转动连接； 第二连接杆（448），与所述第二端（4244）和所述固定块（442）的另一端转动连接； 所述加热组件还包括旋转支撑件，所述红外灯管的一端套设在所述旋转支撑件上，所述旋转支撑件与所述红外灯管固定连接，所述旋转支撑件与所述石英管的内径形状相适配。

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