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龙图腾网获悉森松(江苏)重工有限公司申请的专利气相沉积炉及填料密封结构的安装方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113025993B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110208440.6，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权气相沉积炉及填料密封结构的安装方法是由康治政;詹林;王滋川;匡良明设计研发完成，并于2021-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本气相沉积炉及填料密封结构的安装方法在说明书摘要公布了：本申请提出了一种气相沉积炉及填料密封结构的安装方法。该气相沉积炉包括炉管、下管板和填料密封结构。所述炉管穿过所述下管板，所述炉管和所述下管板通过所述填料密封结构形成密封。所述填料密封结构包括填料、管座、压盖和支耳结构。所述管座固定连接于所述下管板，所述支耳结构包括螺母、连接板和螺杆，所述连接板固定连接于所述压盖，所述螺杆能够穿过所述连接板，所述螺杆的一端固定连接于所述下管板，所述螺杆和所述螺母通过螺纹配合连接，通过所述螺母能够限制所述连接板在所述螺杆的轴向上的位置。

本发明授权气相沉积炉及填料密封结构的安装方法在权利要求书中公布了：1.一种填料密封结构的安装方法，其特征在于，所述填料密封结构为气相沉积炉的填料密封结构， 所述气相沉积炉包括炉管1、下管板2和填料密封结构，所述炉管1穿过所述下管板2，所述炉管1和所述下管板2通过所述填料密封结构形成密封， 所述填料密封结构包括填料4、管座52、压盖62和支耳结构7，所述管座52焊接于所述下管板2，所述填料密封结构还包括设置在所述管座52的径向内侧的多个垫片3， 所述支耳结构7包括螺母71、连接板72和螺杆73，所述连接板72固定连接于所述压盖62，所述压盖62至少部分地插入所述管座52并将一个所述垫片3压靠于所述下管板2，所述螺杆73能够穿过所述连接板72，所述螺杆73的一端固定连接于所述下管板2，所述螺杆73和所述螺母71通过螺纹配合连接，通过所述螺母71能够限制所述连接板72在所述螺杆73的轴向A上的位置， 所述填料密封结构的安装方法包括： 所述压盖62预装入所述管座52，所述螺杆73穿过所述连接板72并放置于所述压盖62旁边，以确定所述螺杆73的固定位置； 所述螺杆73固定连接于所述气相沉积炉的下管板2； 所述连接板72固定连接于所述压盖62； 所述螺母71和所述螺杆73旋合，通过改变所述螺母71的位置调整所述压盖62在所述轴向A上的位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人森松(江苏)重工有限公司，其通讯地址为：226532 江苏省南通市如皋市长江镇（如皋港区）森松路1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。