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力晶积成电子制造股份有限公司谢思瑜获国家专利权

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龙图腾网获悉力晶积成电子制造股份有限公司申请的专利测试键结构及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114724969B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110167909.6,技术领域涉及:H01L21/66;该发明授权测试键结构及其制造方法是由谢思瑜设计研发完成,并于2021-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。

测试键结构及其制造方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种测试键结构及其制造方法,其中该测试键结构位于晶片的切割道中,且包括基底、介电层、金属层、第一介层窗、第二介层窗、遮蔽层、第一接垫与第二接垫。介电层设置在基底上。金属层设置在介电层中。第一介层窗与第二介层窗设置在介电层中,且分别电连接至金属层。遮蔽层设置在介电层上,且位于部分金属层的正上方。第一接垫与第二接垫设置在介电层上,且分别电连接至第一介层窗与第二介层窗。

本发明授权测试键结构及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种测试键结构,位于晶片的切割道中,其特征在于,该测试键结构包括: 基底; 介电层,设置在所述基底上; 金属层,设置在所述介电层中,其中在该金属层下方的该介电层中包括金属内连线结构; 第一介层窗与第二介层窗,设置在所述介电层中,且分别电连接至所述金属层; 遮蔽层,设置在所述介电层上,且位于部分所述金属层的正上方;以及 第一接垫与第二接垫,设置在所述介电层上,且分别电连接至所述第一介层窗与所述第二介层窗。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人力晶积成电子制造股份有限公司,其通讯地址为:中国台湾新竹科学工业园区;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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