新光电气工业株式会社小林博幸获国家专利权
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龙图腾网获悉新光电气工业株式会社申请的专利静电吸盘和基板固定装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113284836B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110123597.9，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权静电吸盘和基板固定装置是由小林博幸设计研发完成，并于2021-01-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电吸盘和基板固定装置在说明书摘要公布了：本公开提供一种静电吸盘和基板固定装置，该静电吸盘构造为在静电吸盘上吸附并且保持对象。该静电吸盘包括：基体，对象安装在该基体上；静电电极，其设置在基体中；多个加热元件，其设置在基体中；以及多个电流控制元件，其设置在基体中，并且多个电流控制元件中的每一个与加热元件中相对应的一个串联连接；根据从基体的外部朝向电流控制元件中相对应的一个辐射的光来控制电流控制元件的每个操作。
本发明授权静电吸盘和基板固定装置在权利要求书中公布了：1.一种基板固定装置，包括： 底板，其具有多个通孔； 静电吸盘，所述静电吸盘安装在所述底板的一个面上，并且构造为在所述静电吸盘上吸附并保持对象，所述静电吸盘包括： 基体，所述对象安装在所述基体上； 静电电极，其设置在所述基体中； 多个加热元件，其设置在所述基体中；以及 多个电流控制元件，其设置在所述基体中，并且所述多个电流控制元件中的每一个与所述加热元件中相对应的一个串联连接； 其中，根据从所述基体的外部朝向所述电流控制元件中相对应的一个辐射的光来控制所述电流控制元件的每个操作；以及多个光纤，所述多个光纤中的每一个构造为朝向所述电流控制元件中相对应的一个发射光，并且所述多个光纤中的每一个布置在所述通孔中相对应的一个中， 其中，所述通孔中的每一个面向所述电流控制元件中相对应的一个， 所述基板固定装置还包括： 粘合层，其设置在所述基体的第一面与所述底板之间，以将所述静电吸盘与所述底板彼此固定， 其中，所述通孔形成在所述底板和所述粘合层中，以便使所述基体的所述第一面露出，并且 所述光纤的前端中的每一个定位在形成于所述底板中的所述通孔中相对应的一个中。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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