等离子体成膜有限公司铃木泰雄获国家专利权
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龙图腾网获悉等离子体成膜有限公司申请的专利等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114765103B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110038794.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子体处理装置是由铃木泰雄;铃木洋和设计研发完成，并于2021-01-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种等离子体处理装置。所述等离子体处理装置包括对基材X进行等离子体处理的多个等离子体处理室S2～S6、将基材X以立起状态保持的托盘Y、将托盘Y连续输送到多个等离子体处理室S2～S6的升降机构10，所述等离子体处理装置即使对难以卷绕到辊上的基材也能够连续进行等离子体处理。
本发明授权等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括： 多个等离子体处理室，对基材进行等离子体处理； 托盘，将所述基材保持为立起状态； 升降机构，将所述托盘连续地输送到所述多个等离子体处理室， 所述升降机构具有： 绳索，横跨所述多个等离子体处理室架设，所述托盘挂在该绳索上；以及 驱动源，使所述绳索在所述多个等离子体处理室之间移动；以及 输送机构，所述输送机构将所述托盘输送至所述升降机构，其中，所述输送机构具有将所述托盘送至所述绳索的环形带， 通过所述托盘从所述环形带的边缘部落下，设置在所述托盘上的挂钩部挂在所述绳索上，所述托盘被悬挂在所述绳索上。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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