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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利双极静电吸盘上的边缘均匀性可调谐性获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114730729B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080080379.5，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权双极静电吸盘上的边缘均匀性可调谐性是由H·J·吴设计研发完成，并于2020-11-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本双极静电吸盘上的边缘均匀性可调谐性在说明书摘要公布了：本技术的实施例可以包括静电吸盘。吸盘可以包括顶表面，顶表面限定了吸盘的凹入部分。吸盘的凹入部分可以被配置为支撑基板。吸盘可以进一步包括第一电极和第二电极。第一电极和第二电极可设置在吸盘内。第一电极和第二电极可以基本上共面。另外，吸盘可以包括第三电极。第三电极可以设置在吸盘内。此外，第三电极可以具有环形形状。第三电极可以与第一电极和第二电极分开。另外，第三电极可以基本上平行于第一电极和第二电极。还描述了包括静电吸盘的系统和方法。

本发明授权双极静电吸盘上的边缘均匀性可调谐性在权利要求书中公布了：1.一种静电吸盘，所述吸盘包括： 顶表面，其中： 所述顶表面限定了所述吸盘的凹入部分，所述吸盘的所述凹入部分被配置为支撑基板，并且 所述吸盘的所述凹入部分由第一直径表征； 设置在所述吸盘内的第一双极吸附电极和第二双极吸附电极，其中： 所述第一双极吸附电极和所述第二双极吸附电极基本上是共面半圆，所述共面半圆由沿着所述共面半圆的直边的直间隙分开；和 设置在所述吸盘内的第三吸附电极，其中： 所述第三吸附电极包括由内径表征的圆环，所述内径限定所述第三吸附电极的最内侧边缘； 所述内径大于所述第一直径； 所述第三吸附电极的顶部部分设置在所述第一双极吸附电极和所述第二双极吸附电极下方并且在所述第一双极吸附电极和所述第二双极吸附电极下方与所述第一双极吸附电极和所述第二双极吸附电极部分重叠；并且 所述第三吸附电极基本上平行于所述第一双极吸附电极和所述第二双极吸附电极， 其中所述第一双极吸附电极被配置为使得当将所述基板设置在所述凹入部分中并且向所述第一双极吸附电极施加第一电压时，第一静电力将所述基板保持在所述吸盘上； 所述第二双极吸附电极被配置为使得当将所述基板设置在所述凹入部分中并且向所述第二双极吸附电极施加第二电压时，第二静电力将所述基板保持在所述吸盘上，所述第二电压具有与所述第一电压相反的极性； 所述第一双极吸附电极、所述第二双极吸附电极和所述第三吸附电极被配置为用作DC吸附电极，并且用作调制等离子体的RF电极。

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