昆明物理研究所刘燕获国家专利权
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龙图腾网获悉昆明物理研究所申请的专利一种化学抛光夹具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114496880B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011157480.4，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种化学抛光夹具是由刘燕;洪雁;彭凝;陈洪富;赵才健;彭振仙;邓声玉;马震宇;岳义开;徐浩;储德亮设计研发完成，并于2020-10-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学抛光夹具在说明书摘要公布了：本发明公开了一种化学抛光夹具，该夹具整体呈圆柱形，在其圆柱的顶部的圆形面上设置有矩形凹槽、预留取片口、环形凹槽和棒形凹槽；矩形凹槽设置在所述顶部的圆形面的中心区域，呈矩形，用于放置待抛光的晶片或薄膜；在矩形凹槽的四个角上分别设置一个与之连通的预留取片口；在矩形凹槽与顶部的圆形面的边缘区间呈同心放射状设置有至少一条呈闭环的环形凹槽；在由顶部的圆形面的边缘指向矩形凹槽的中心的位置沿径向设置至少一条棒形凹槽，其长度能够覆盖所述的四条环形凹槽。本发明可以保证抛光材料表面的抛光均匀性，并且方便移取和清洗材料，操作简单，同时可以解决传统化学抛光中蜡引入污染对衬底表面造成不良影响的问题。
本发明授权一种化学抛光夹具在权利要求书中公布了：1.一种化学抛光夹具，其特征在于： 所述化学抛光夹具整体呈圆柱形，在其圆柱的顶部的圆形面上设置有矩形凹槽、预留取片口、环形凹槽和棒形凹槽； 所述矩形凹槽设置在所述顶部的圆形面的中心区域，用于放置待抛光的晶片或薄膜； 在所述矩形凹槽的四个角上分别设置一个与之连通的预留取片口； 在所述矩形凹槽与顶部的圆形面的边缘区间呈同心放射状设置有四条呈闭环的环形凹槽； 在由顶部的圆形面的边缘指向矩形凹槽的中心的矩形四边中点的位置沿径向设置四条棒形凹槽，这四条棒形凹槽相互之间呈90°夹角，其长度能够覆盖外侧的三条环形凹槽； 所述预留取片口深度、环形凹槽、矩形凹槽及棒形凹槽的深度均相同； 所述化学抛光夹具的材质为聚四氟乙烯。
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