AP系统股份有限公司安孝承获国家专利权
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龙图腾网获悉AP系统股份有限公司申请的专利衬底处理设备和衬底处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113078097B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010165235.1，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权衬底处理设备和衬底处理方法是由安孝承;金俊浩;辛东烈设计研发完成，并于2020-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理设备和衬底处理方法在说明书摘要公布了：本公开涉及一种衬底处理设备和衬底处理方法，所述衬底处理设备包含：腔室，具有处理空间；气体供应单元，将处理气体供应到处理空间中；衬底支撑件，设置于处理空间中以在中心区域处支撑衬底；中空按压单元，沿着衬底的圆周设置以在于处理空间中下降时按压衬底的边缘；以及驱动单元，为按压单元竖直移动提供驱动力。
本发明授权衬底处理设备和衬底处理方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理设备，包括： 腔室，具有处理空间； 气体供应单元，配置成将处理气体供应到所述处理空间中； 衬底支撑件，设置于所述处理空间中以在中心区域处支撑衬底； 中空的按压单元，沿着所述衬底的圆周设置以在于所述处理空间中下降时按压所述衬底的边缘；以及 驱动单元，配置成为所述按压单元竖直移动提供驱动力， 其中所述按压单元包括： 边缘夹具，包括其中心处的通孔；以及 环形的推环，耦合到所述边缘夹具且配置成按压所述衬底的所述边缘， 其中所述推环包括： 框架，由沿着所述衬底的所述圆周延伸的环形板形成；以及 按压部分，从所述框架向内向下延伸以接触所述衬底的所述边缘， 其中所述按压部分沿着所述衬底的所述边缘延伸且与所述衬底的所述边缘线接触或面接触，且所述按压部分包括在其面向所述处理空间的表面的至少一部分上的倾斜表面，所述倾斜表面向所述衬底支撑件的顶部表面倾斜，且 其中所述倾斜表面相对于所述衬底支撑件的所述顶部表面具有倾斜，所述倾斜在所述倾斜表面的靠近所述推环的中心部分的内侧处比在外侧处更加平缓。
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