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龙图腾网获悉芯纳百川(无锡)半导体科技有限公司申请的专利一种石英管内壁去羟基抛光装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120170618B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510658456.5，技术领域涉及：B24B29/08；该发明授权一种石英管内壁去羟基抛光装置是由李毅;郑成功设计研发完成，并于2025-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种石英管内壁去羟基抛光装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种石英管内壁去羟基抛光装置，包括工作台，其上端面对称设置有两个平行分布的管夹组件；所述工作台的上端面一侧竖直固定有机板，所述机板上横向固定有多个导杠，所述导杠上安装有定位座，所述定位座的轴向端面靠近机板的一侧设置有抛光单元；所述工作台上位于两个所述管夹组件的外侧均设置有用于轴向推进石英管的推管装置；本发明的抛光单元中多个侧抛装置与中心抛盘能够在同步旋转中对石英管内壁进行整体抛光，抛光效率高，其中还采用的推管装置能够通过对石英管提供轴向往复推动，使得侧抛装置与中心抛盘能够对石英管内壁各处进行精抛与粗抛作业，保证了抛光的一致性和均匀性。

本发明授权一种石英管内壁去羟基抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种石英管内壁去羟基抛光装置，其特征在于：包括工作台（1），其上端面对称设置有两个平行分布的管夹组件（2），所述管夹组件（2）内设有同轴定位孔用于水平夹持待加工石英管；所述工作台（1）的上端面一侧竖直固定有机板（11），所述机板（11）上横向固定有多个导杠（12），所述导杠（12）上安装有定位座（13），所述定位座（13）的轴向端面靠近机板（11）的一侧设置有抛光单元（3），所述抛光单元（3）的一端同轴伸入石英管内腔；所述工作台（1）上位于两个所述管夹组件（2）的外侧均设置有用于轴向推进石英管的推管装置（4）；所述抛光单元（3）包括固定轴（31），其横向固定在定位座（13）上并贯穿设置在所述机板（11）内，所述固定轴（31）上等距分布有多个中心抛盘（32）；且所述固定轴（31）上还装配有多个侧抛装置（5），所述侧抛装置（5）与中心抛盘（32）沿固定轴（31）的轴向交替分布；所述侧抛装置（5）包括轴套座（51），为对称设置的两个，两个轴套座（51）均套设在固定轴（31）上；所述轴套座（51）的一侧安装有与所述固定轴（31）相平行的辊架（52），所述辊架（52）上转动连接有侧抛辊（53）； 所述管夹组件（2）包括夹持基座（21），其通过螺栓固定在所述工作台（1）上，所述夹持基座（21）的上端面竖直滑动连接有活动夹座（22），所述活动夹座（22）与夹持基座（21）内均设有弧形定位槽，所述弧形定位槽中固定有内衬板（23）； 所述夹持基座（21）的一侧固定有锁紧气缸（24），所述锁紧气缸（24）的输出端与活动夹座（22）相连接； 各所述内衬板（23）的弧形内壁均匀分布有多个滚轴单元（25）；且所述工作台（1）上位于其中一个管夹组件（2）的一侧固定有载座（26），所述载座（26）上倾斜安装有可滑动调节的转轮机构（27），所述转轮机构（27）与石英管外壁相抵靠接触； 所述固定轴（31）上位于各中心抛盘（32）的一侧同轴固定有轴板（33），各所述轴板（33）上通过轴承偏心转动设置有连轴，所述连轴的一端固定有传动齿（34）；所述中心抛盘（32）靠近所述轴板（33）的一端同轴固定有齿环（35），所述传动齿（34）与齿环（35）相啮合； 所述固定轴（31）内转动设置有转轴（36），所述转轴（36）上位于各轴板（33）处均套设有内齿一（37），所述内齿一（37）与所述传动齿（34）对应啮合传动。

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