东北大学赵勇获国家专利权
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龙图腾网获悉东北大学申请的专利基于飞秒激光刻写的高性能光纤温盐传感器及制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119958720B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510442537.1,技术领域涉及:G01K11/32;该发明授权基于飞秒激光刻写的高性能光纤温盐传感器及制作方法是由赵勇;刘睿杰;吕日清;赵锦程;王煜设计研发完成,并于2025-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于飞秒激光刻写的高性能光纤温盐传感器及制作方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种基于飞秒激光刻写的高性能光纤温盐传感器及制作方法,涉及光纤传感技术技术领域,具体包括法布里‑珀罗干涉仪(FPI)、马赫‑曾德尔干涉仪(MZI)、单模光纤(SMF)、空芯光纤(HCF)、温敏材料、双C型微通道、单包层光纤(SCF);FPI由填满温敏材料的双C型微通道和第一SMF和第二SMF熔接构成,双C型微通道由飞秒激光在HCF上刻写形成;MZI由SCF和第二SMF和第三SMF经过轴心偏移错位熔接构成;FPI为温度传感区,MZI为盐度传感区,FPI为MZI提供温度补偿;采用二元二次多项式曲面拟合解耦算法降低了温盐之间的交叉敏感,具有较高的灵敏度和分辨力,对于构建全球“透明海洋”战略具有重要意义。
本发明授权基于飞秒激光刻写的高性能光纤温盐传感器及制作方法在权利要求书中公布了:1.一种基于飞秒激光刻写的高性能光纤温盐传感器,其特征在于,包括法布里-珀罗干涉仪FPI、马赫-曾德尔干涉仪MZI; 所述法布里-珀罗干涉仪FPI包括双C型微通道、第一单模光纤以及第二单模光纤,其中所述双C型微通道两端分别熔接第一单模光纤和第二单模光纤; 所述马赫-曾德尔干涉仪MZI包括单包层光纤SCF、第三单模光纤,其中单包层光纤SCF两端分别与第二单模光纤以及第三单模光纤经过轴心偏移错位熔接; 所述双C型微通道由飞秒激光在空芯光纤HCF上刻写形成,并充满温敏材料; 所述法布里-珀罗干涉仪FPI为温度传感区,马赫-曾德尔干涉仪MZI为盐度传感区,法布里-珀罗干涉仪FPI为马赫-曾德尔干涉仪MZI提供温度补偿; 所述的一种基于飞秒激光刻写的高性能光纤温盐传感器,制作方法如下,包括以下步骤: 步骤1:法布里-珀罗干涉仪FPI结构制作; 步骤2:马赫-曾德尔干涉仪MZI结构制作; 步骤3:温敏材料制备; 首先将温敏材料PDMS原始材料与固化剂按设定比例混合后,充分搅拌,放置于真空反应釜中抽取空气,等待气泡消失,获得液态温敏材料; 步骤4:飞秒激光加工; 步骤5:温敏材料填充固化; 将制备好的液态温敏材料通过毛细作用原理填入空芯光纤的空气腔中,再将其放入电鼓风干燥箱中,在80℃下烘干2小时,等待温敏材料完全固化,获得制备好的传感器; 步骤6:传感器封装:将制备好的传感器利用玻璃管和紫外胶进行封装; 所述步骤1具体为:首先使用熔接机将第一单模光纤和空芯光纤一端拼接,再利用定长切割系统对空芯光纤进行切割;再将空芯光纤另一端与第二单模光纤拼接在一起,形成单模-空芯-单模SHS结构; 所述步骤2具体为:制作完法布里-珀罗干涉仪FPI结构后,将单包层光纤通过熔接机在水平X方向上与第二单模光纤错位熔接,错位量为65μm;此时,在垂直Y方向上,通过光纤角度转动器手动将单包层光纤与第二单模光纤转为同一平面,并固定不动;之后再将单包层光纤的另一端与第三单模光纤错位熔接,形成马赫-曾德尔干涉仪MZI结构; 所述步骤4具体为:利用飞秒激光对FPI和MZI组成的混合结构进行处理,将其放置在三维位移平台上,使用10倍物镜,以100μms的速度进行扫描,制备出两个长度为15μm、深度为40μm、宽度为125μm的C型微通道;使用同样的加工参数在第一和第二单模光纤上刻写相同尺寸的矩形微槽,微槽的长度为30μm。
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