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浙江大学王亭勋获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种硅基的连续葡萄糖检测微装置及制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114767098B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210262594.8,技术领域涉及:A61B5/145;该发明授权一种硅基的连续葡萄糖检测微装置及制作方法是由王亭勋;赵博设计研发完成,并于2022-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。

一种硅基的连续葡萄糖检测微装置及制作方法在说明书摘要公布了:本发明属于医疗检测设备和集成电路技术设计领域,公开了一种硅基的连续葡萄糖检测微装置及制作方法,包括接收端、发射端和互感天线,发射端包括匹配网络、开关和检测单元,发射天线T2连接至匹配网络,匹配网络与开关连接,开关连接检测单元,检测单元包括电源管理单元、电流频率转换单元和硅基传感器,电源管理单元用于产生标准电压与电流信号,电流频率转换单元将硅基传感器检测到的电信号转化为频率信号,该信号控制开关,开关通过通断调制发射天线负载。本发明与硅基芯片具有良好的兼容性,并且可以实现无线传输,与传统的连续血糖监测系统相比,本发明传感器的体积小,制作工艺相对简单,制作成本低。

本发明授权一种硅基的连续葡萄糖检测微装置及制作方法在权利要求书中公布了:1.一种制作硅基的连续葡萄糖检测微装置的方法,所述硅基的连续葡萄糖检测微装置,包括接收端、发射端和互感天线,所述接收端和发射端通过互感天线传输信号,所述互感天线由设置在接收端的接收天线T1和设置在发射端的发射天线T2组成;所述发射端包括匹配网络、开关和检测单元,所述发射天线T2连接至匹配网络,所述匹配网络与开关连接,所述开关连接检测单元,其特征在于,所述检测单元包括电源管理单元、电流频率转换单元和硅基传感器,所述硅基传感器连接电流频率转换单元,所述电流频率转换单元连接开关,所述电源管理单元连接电流频率转换单元和硅基传感器,所述电源管理单元用于产生标准电压与电流信号,所述电流频率转换单元将硅基传感器检测到的电信号转化为频率信号,该信号控制开关,所述开关通过通断调制发射天线负载;所述检测微装置通过MEMS加工工艺制作在基底(1)上,所述基底(1)一端为带尖锐刺头的植入端(1-2),另一端为露在皮肤表面的数据处理发射端(1-1);所述植入端(1-2)包括传感器电极和导线(5),所述传感器电极包括工作电极(2)、参比电极(3)和对电极(4);所述数据处理发射端(1-1)包括焊盘(6)、芯片(7)和互感天线(8);所述芯片(7)包括整流器、滤波器、电流频率转换单元、电源管理单元、开关和匹配网络;所述芯片(7)与互感天线(8)和植入端(1-2)电连接,并通过无线供电进行工作;所述基底(1)包括衬底(1a)以及覆盖在衬底上的绝缘层(1b),所述传感器电极通过导线(5)与焊盘(6)连接,所述焊盘(6)与芯片(7)连接;所述衬底(1a)的材料为硅,所述绝缘层(1b)材料为氧化硅;所述传感器电极的形状为方形,所述参比电极(3)包括参比电极层(3a)和银层(3b);所述导线(5)包括导线层(5a)和绝缘层(5b),所述绝缘层(5b)为氧化硅;其特征在于, 所述方法包括如下步骤: 步骤1:在基底(1)上涂覆一层光刻胶,曝光显影后形成传感器电极、导线(5)和焊盘(6)的形状,其中传感器电极包括工作电极(2)、参比电极(3)和对电极(4); 步骤2:然后通过等离子体刻蚀工艺形成传感器电极凹槽,通过溅射工艺在基底(1)表面沉积一次金属薄膜通过玻璃工艺将光刻胶及其表面的金剥离,即在基底表面留下工作电极(2)、参比电极层(3a)和对电极(4); 所述步骤2通过溅射工艺在基底(1)表面沉积一次厚度100纳米的金属薄膜金; 步骤3:采用步骤2同样的工艺,在参比电极层(3a)表面制作银层(3b),并将其放入盐酸溶液中进行氯化,进一步形成银氯化银表层; 所述步骤3银层(3b)的厚度为100纳米; 所述步骤3包括将工作电极浸于氯铂酸溶液中进行纳米铂颗粒沉积,然后浸于苯胺-盐酸溶液进行电聚合,形成聚苯胺纳米纤维,最后表面滴定葡萄糖氧化酶,并在37°C下与25%的戊二醛进行交联1小时; 步骤4:采用步骤2同样的工艺在导线层(5a)表面沉积绝缘层(5b); 所述步骤4绝缘层(5b)为二氧化硅; 步骤5:在基底(1)上通过溅射工艺沉积几个微米的铝作为互感天线(8)材料,再通过光刻曝光显影工艺形成互感天线(8)的形状,最后通过湿法刻蚀及去胶工艺形成互感天线(8)。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江大学,其通讯地址为:310013 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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