杰宜斯科技有限公司孔云获国家专利权
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龙图腾网获悉杰宜斯科技有限公司申请的专利基板处理装置及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114121759B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110975831.0，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权基板处理装置及其控制方法是由孔云;宋智勋;朴芝镐设计研发完成，并于2021-08-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及基板处理装置及其控制方法。基板处理装置的其特征在于，包括：真空卡盘部，供晶片搭载；环盖部，设置于所述真空卡盘部的外围部；介质供给部，与所述真空卡盘部连接，以向所述真空卡盘部供给检查介质；以及密封环部，设置于所述真空卡盘部以支承所述晶片，并且供供给到所述真空卡盘部的所述检查介质流入。根据本发明，可以降低基板处理装置的维护成本，并防止由于处理液渗透到旋转卡盘部和真空卡盘部而损坏或污染旋转卡盘部和真空卡盘部。
本发明授权基板处理装置及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括： 真空卡盘部，供晶片搭载； 环盖部，设置于所述真空卡盘部的外围部； 介质供给部，与所述真空卡盘部连接，以向所述真空卡盘部供给检查介质；以及 密封环部，设置于所述真空卡盘部以支承所述晶片，并且供供给到所述真空卡盘部的所述检查介质流入， 所述密封环部包括： 密封部件，容纳于所述真空卡盘部的密封槽部，并且在所述密封部件的内部形成有变形空间部； 限制环部，设置于所述密封槽部，以使所述密封部件固定；以及 连接器部，与所述变形空间部连接，以向所述变形空间部供给所述检查介质。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杰宜斯科技有限公司，其通讯地址为：韩国京畿道；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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