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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115680448B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110859927.0，技术领域涉及：E06B3/50；该发明授权半导体工艺设备是由程晨;宋新丰;杨帅设计研发完成，并于2021-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种半导体工艺设备，包括装载腔室和密封装置，所述装载腔室的腔室壁具有开口，所述密封装置用于对所述开口密封，所述密封装置包括密封门组件、第一驱动机构、第二驱动机构和调节机构，其中：所述第一驱动机构与所述密封门组件连接，用于驱动所述密封门组件移动至与所述开口相对或错位的位置；所述第二驱动机构设置在所述腔室壁上，用于在所述密封门组件与所述开口相对时，驱动所述密封门组件压紧所述腔室壁；所述调节机构设于所述密封门组件，用于调整所述密封门组件相对于所述腔室壁的平行度，以使所述密封门组件对所述开口密封。上述方案可以解决密封门组件相对于腔室壁平行度较差，而导致密封门组件对开口密封不严的问题。

本发明授权半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括装载腔室和密封装置，所述装载腔室的腔室壁（100）上具有开口，所述密封装置用于对所述开口密封，所述密封装置包括密封门组件、第一驱动机构（300）、第二驱动机构（400）和调节机构（500），其中： 所述第一驱动机构（300）与所述密封门组件连接，用于驱动所述密封门组件移动至与所述开口相对或错位的位置； 所述第二驱动机构（400）设置在所述腔室壁（100）上，用于在所述密封门组件与所述开口相对时，驱动所述密封门组件压紧所述腔室壁（100）； 所述调节机构（500）设于所述密封门组件，用于调整所述密封门组件相对于所述腔室壁（100）的平行度，以使所述密封门组件对所述开口密封； 所述调节机构（500）包括调整支架（510）、调节件（520）和连接件（530），所述调整支架（510）为框架结构，所述调整支架（510）沿所述密封门组件的边缘设置，所述调整支架（510）通过所述连接件（530）与所述密封门组件连接，所述调节件（520）设于所述调整支架（510），用于调节所述调整支架（510）与所述密封门组件之间的距离。

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