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龙图腾网获悉北京科益虹源光电技术有限公司申请的专利一种准分子激光器金属氟化物捕获器净化效果检验装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115684756B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110847596.9，技术领域涉及：G01R31/00；该发明授权一种准分子激光器金属氟化物捕获器净化效果检验装置是由蔡森;陈文斌;刘稚萍设计研发完成，并于2021-07-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种准分子激光器金属氟化物捕获器净化效果检验装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种准分子激光器金属氟化物捕获器净化效果检验装置，其包括金属氟化物捕获器和尘埃粒子计数器；所述金属氟化物捕获器上设置有进气口和排气口；进气口通过进气管路与气源连接，用于向所述金属氟化物捕获器内输入测试气体；所述尘埃粒子计数器通过排气管路与所述金属氟化物捕获器的排气口连接，用于检测自金属氟化物捕获器内排出气体的颗粒物含量。本发明利用尘埃粒子计数器精确检测到电场捕获颗粒物的洁尘效果，以及结合气体流量调节和电场强度调节，可获得最佳的准分子激光器金属氟化物捕获器的最佳工作参数，提高了准分子激光器金属氟化物捕获器的合格率。

本发明授权一种准分子激光器金属氟化物捕获器净化效果检验装置在权利要求书中公布了：1.一种准分子激光器金属氟化物捕获器净化效果检验装置，其特征在于，包括：金属氟化物捕获器（10）、尘埃粒子计数器（20）和直流电源（50）； 所述金属氟化物捕获器（10）上设置有进气口（11）和排气口（12）； 进气口（11）通过进气管路（41）与气源（40）连接，用于向所述金属氟化物捕获器（10）内输入测试气体； 直流电源（50）与金属氟化物捕获器（10）电连接，用于形成捕获尘埃粒子的高压静电电场； 所述尘埃粒子计数器（20）通过排气管路（21）与所述金属氟化物捕获器（10）的排气口（12）连接，用于检测自金属氟化物捕获器（10）内排出气体的颗粒物含量; 还包括过渡腔室（60），过渡腔室（60）通过管路与尘埃粒子计数器（20）连接；所述金属氟化物捕获器（10）内的气体经排气口（12）以及管路通过尘埃粒子计数器（20）后输入所述过渡腔室（60）； 过渡腔室（60）内的气体通过管路经尘埃粒子计数器（20）检测后，可选择地返回所述金属氟化物捕获器（10）或所述气源（40）。

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