浙江睿熙科技有限公司陈冠廷获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江睿熙科技有限公司申请的专利VCSEL激光器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115189230B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110353307.X,技术领域涉及:H01S5/183;该发明授权VCSEL激光器及其制备方法是由陈冠廷设计研发完成,并于2021-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本VCSEL激光器及其制备方法在说明书摘要公布了:公开了一种VCSEL激光器,包括:衬底、形成于所述衬底的N‑DBR层、形成于所述N‑DBR层的有源区、形成于所述有源区的P型半导体结构、通过外延生长工艺成型于所述有源区的生长限制层,其中,所述P型半导体结构被所述生长限制层所包围,所述生长限制层用于使得自由载子流入所述P型半导体结构、形成于所述P型半导体结构和所述生长限制层的上表面的金属融合层、形成于所述金属融合层的可导电衬底;以及,电连接于所述可导电衬底的正电极和电连接于所述衬底的负电极,其中,所述负电极形成对应于所述P型半导体结构的出光孔。
本发明授权VCSEL激光器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种VCSEL激光器,其特征在于,包括: 衬底; 形成于所述衬底的N-DBR层; 形成于所述N-DBR层的有源区; 形成于所述有源区的P型半导体结构,其中,所述P型半导体结构包括形成于所述有源区的P-DBR层和形成于所述P-DBR层的P型欧姆接触半导体层; 生长限制层,在所述P型半导体结构形成之后通过外延生长工艺成型于所述有源区,其中,所述P型半导体结构被所述生长限制层所包围,所述生长限制层由半导体材料制成,用于使得自由载子流入所述P型半导体结构; 形成于所述P型半导体结构和所述生长限制层的上表面的金属融合层,其中,所述金属融合层包括形成于所述P型半导体结构和所述生长限制层的上表面的第一欧姆接触金属层,以及,形成于所述第一欧姆接触金属层的第一金属导电层;其中,所述第一欧姆接触金属层和所述生长限制层之间形成会肖特基势垒,以阻止工作电流流入所述生长限制层; 形成于所述金属融合层的可导电衬底,包括衬底层和形成于所述衬底层的下表面的结合层,所述结合层键合于所述第一金属导电层;以及 电连接于所述可导电衬底的正电极和电连接于所述衬底的负电极,其中,所述负电极形成对应于所述P型半导体结构的出光孔。
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