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株式会社迪思科大前卷子获国家专利权

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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利标记方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113380612B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110249737.7,技术领域涉及:H01L21/304;该发明授权标记方法是由大前卷子设计研发完成,并于2021-03-08向国家知识产权局提交的专利申请。

标记方法在说明书摘要公布了:本发明提供标记方法,不产生由隆起或碎屑等引起的污染。对晶片进行的标记方法包含如下工序:切削装置准备工序,准备切削装置1;标识信息登记工序,将应标记的标识的信息登记在该控制单元中;位置确定工序,将晶片10保持在卡盘工作台38上,利用拍摄单元28对晶片进行拍摄并显示在显示单元2上,通过X坐标、Y坐标来确定晶片的应标记的期望位置;和标记工序,根据在该位置确定工序中确定的期望位置的X坐标、Y坐标,控制单元100使X轴进给单元40和Y轴进给单元50进行动作而将切削刀具21定位于该期望位置,并且使Z轴进给单元60进行动作而利用切削刀具进行标记。

本发明授权标记方法在权利要求书中公布了:1.一种标记方法,是对晶片进行的标记方法,其中, 该标记方法构成为包含如下的工序: 切削装置准备工序,准备切削装置,该切削装置至少具有卡盘工作台、切削单元、X轴进给单元、Y轴进给单元、Z轴进给单元、拍摄单元、显示单元以及控制单元,其中,该卡盘工作台对晶片进行保持并能够旋转,该切削单元具有对该卡盘工作台所保持的晶片进行切削的切削刀具并且该切削刀具能够旋转,该X轴进给单元将该卡盘工作台和该切削单元沿X轴方向相对地进行加工进给,该Y轴进给单元将该卡盘工作台和该切削单元沿Y轴方向相对地进行加工进给,该Z轴进给单元将该卡盘工作台和该切削单元沿与该X轴方向和该Y轴方向垂直的Z轴方向相对地进行切入进给,该拍摄单元对该卡盘工作台所保持的晶片进行拍摄,该显示单元显示该拍摄单元所拍摄的图像; 标识信息登记工序,将应标记的标识的信息登记在该控制单元中; 位置确定工序,将晶片保持在该卡盘工作台上,利用该拍摄单元对晶片进行拍摄并显示在该显示单元上,通过X坐标、Y坐标来确定晶片的应标记的期望位置;以及 标记工序,根据在该位置确定工序中确定的期望位置的X坐标、Y坐标,使该X轴进给单元和Y轴进给单元进行动作而将该切削刀具定位于该期望位置,并且使该Z轴进给单元进行动作,利用该切削刀具进行标记, 在该标记工序中,在根据X坐标和Y坐标所确定的该期望位置内,利用该切削刀具将沿着X轴方向的多个槽在Y轴方向上形成,通过形成该槽的位置的组合而描绘字母或数字的文字形状。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社迪思科,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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