株式会社迪思科赵金艳获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利分割方法和分割装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113363147B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110223522.8,技术领域涉及:H01L21/304;该发明授权分割方法和分割装置是由赵金艳;植木笃;政田孝行设计研发完成,并于2021-03-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本分割方法和分割装置在说明书摘要公布了:本发明提供分割方法和分割装置,能够形成期望宽度的分割槽。分割方法是沿着分割预定线形成有改质层并且粘贴在扩展片上的被加工物的分割方法,该分割方法包含如下的步骤:分割步骤,对扩展片进行扩展并沿着改质层对被加工物进行分割,形成沿着分割预定线的分割槽;扩展解除步骤,在实施了分割步骤之后,解除扩展片的扩展;以及槽宽度调整步骤,在实施了扩展解除步骤之后,对扩展片进行扩展而将分割槽形成为期望的宽度。
本发明授权分割方法和分割装置在权利要求书中公布了:1.一种分割方法,是沿着分割预定线形成有分割起点并且直接粘贴在扩展片上的被加工物的分割方法,其特征在于, 该分割方法具有如下的步骤: 分割步骤,对该扩展片进行扩展而沿着该分割起点对被加工物进行分割,形成沿着该分割预定线的分割槽; 扩展解除步骤,在实施了该分割步骤之后,解除该扩展片的扩展;以及 槽宽度调整步骤,在实施了该扩展解除步骤之后,对该扩展片进行扩展而将该分割槽形成为期望的宽度, 该被加工物形成为借助该扩展片而安装于具有开口的框架上并且配置在该开口内的状态, 在该分割步骤、该扩展解除步骤以及该槽宽度调整步骤中,在利用同一框架固定单元固定了该框架的状态下,推压被加工物的外周与该框架的内周之间的该扩展片,由此对该扩展片进行扩展。
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