ASML荷兰有限公司M·拉兰纳加获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利用于过程指标的感知过程控制的系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115176204B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180016587.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于过程指标的感知过程控制的系统和方法是由M·拉兰纳加;D·格科鲁;A·伊普玛设计研发完成，并于2021-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于过程指标的感知过程控制的系统和方法在说明书摘要公布了：本文描述一种方法，所述方法包括：确定对象的状态的序列，所述状态是基于与所述对象相关联的处理信息来被确定的，其中所述状态的序列包括所述对象的一个或更多个未来状态；基于所述状态的序列内的所述状态和所述一个或更多个未来状态中的至少一个状态来确定与所述对象相关联的过程指标，所述过程指标包括对于所述状态的序列中的单独的状态来说，对所述对象的处理要求是否得到满足的指示；以及基于1所述状态和所述一个或更多个未来状态中的至少一个状态以及2所述过程指标，开始对处理的调整，所述调整被配置成针对所述状态的序列中的所述单独的状态增强所述过程指标，使得对所述对象的最终处理要求得到满足。
本发明授权用于过程指标的感知过程控制的系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体处理方法，所述方法包括： 利用一个或更多个实体处理器确定经受半导体制造过程的对象的状态的序列，所述状态是基于与所述对象相关联的处理信息来被确定的，其中所述状态的序列包括所述对象的一个或更多个未来状态； 利用所述一个或更多个处理器，基于所述状态的序列内的所述状态和所述一个或更多个未来状态中的至少一个状态来确定与所述对象相关联的过程指标，所述过程指标包括对于所述状态的序列中的单独的状态来说，对所述对象的处理要求是否得到满足的指示；以及 利用所述一个或更多个处理器，基于（1）所述状态和所述一个或更多个未来状态中的至少一个状态以及（2）所述过程指标，开始对所述半导体制造过程的调整，所述调整被配置成针对所述状态的序列中的所述单独的状态增强所述过程指标，使得对所述对象的最终处理要求得到满足。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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