马达西奇(苏州)智能装备科技有限公司李光获国家专利权
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龙图腾网获悉马达西奇(苏州)智能装备科技有限公司申请的专利一种晶圆检查与清洁设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112570306B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011272273.3，技术领域涉及：B07C5/34；该发明授权一种晶圆检查与清洁设备是由李光设计研发完成，并于2020-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆检查与清洁设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种晶圆检查与清洁设备，包括内部气压大于外界气压的设备壳体、安装在设备壳体内部用于放置晶圆盒的工作台、设置在工作台下方的顶升错位组件及顶升旋转组件、设置在工作台上方用于与顶升错位组件配合实现检查工作的识别相机、设置在工作台上方用于与顶升旋转组件配合完成清洁工作的清洁器；所述工作台放置晶圆盒的正下方设置有空腔，所述顶升错位组件及顶升旋转组件下方设置有驱动其分别对应运动至空腔下方的横行模组，并实现上升贯穿空腔与晶圆下端相抵；本发明用于实现晶圆的检查与清洁，减少晶圆因搬运破损或排序不对导致后续事故发生，工作过程中可以减少人工，增加效率。
本发明授权一种晶圆检查与清洁设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检查与清洁设备，其特征在于：包括内部气压大于外界气压的设备壳体、安装在设备壳体内部用于放置晶圆盒的工作台、设置在工作台下方的顶升错位组件及顶升旋转组件、设置在工作台上方用于与顶升错位组件配合实现检查工作的识别相机、设置在工作台上方用于与顶升旋转组件配合完成清洁工作的清洁器；所述工作台放置晶圆盒的正下方设置有空腔，所述顶升错位组件及顶升旋转组件下方设置有驱动其分别对应运动至空腔下方的横行模组，并实现上升贯穿空腔与晶圆下端相抵； 所述顶升错位组件包括第一升降架及固定在第一升降架上端的楔形台；所述顶升旋转组件包括第二升降架及安装在第二升降架上端的若干旋转顶杆； 所述横行模组包括一对导轨、设置在一对导轨之间的传动带、以及驱动传动带转动的驱动电机；所述第一升降架及第二升降架下端与传动带固定连接，并与一对导轨滑动配合； 所述顶升旋转组件的数量为一个以上，单个所述顶升旋转组件上端的若干旋转顶杆呈内凹圆弧状分布，并分别与对应尺寸的晶圆适配。
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