弘塑科技股份有限公司陈贤鸿获国家专利权
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龙图腾网获悉弘塑科技股份有限公司申请的专利基板固定装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114093803B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010859045.X，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权基板固定装置是由陈贤鸿;吴宗恩设计研发完成，并于2020-08-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板固定装置在说明书摘要公布了：本揭示提供一种基板固定装置，用以固定并吸附大尺寸方形基板。基板固定装置包含夹盘机构及旋转机构。夹盘机构具有第一表面及与第一表面相对设置的第二表面。夹盘机构包含设置于第一表面上的复数真空吸盘、复数夹持机构并定义矩形边缘区域，且复数真空吸盘及复数夹持机构设置于矩形边缘区域内。旋转机构连接于夹盘机构的第二表面以带动夹盘机构进行旋转。大尺寸方形基板的周缘对应设置于夹盘机构的矩形边缘区域内，使复数真空吸盘可吸附于大尺寸方形基板的表面，且复数夹持机构可夹持于大尺寸方形基板的周缘。
本发明授权基板固定装置在权利要求书中公布了：1.一种基板固定装置，固定并吸附大尺寸方形基板，所述基板固定装置包含： 夹盘机构，具有第一表面及与所述第一表面相对设置的第二表面，所述夹盘机构包含设置于所述第一表面上的复数真空吸盘、复数夹持机构并定义矩形边缘区域，及复数挡水盘，所述复数挡水盘分别对应于所述复数真空吸盘且设置于所述复数真空吸盘的外环，用来导引喷洒至所述大尺寸方形基板上的化学药液流入至所述复数挡水盘内，并且所述复数真空吸盘及所述复数夹持机构皆设置于所述矩形边缘区域内，其中所述矩形边缘区域定义有两对角线，所述复数真空吸盘至少设置在所述矩形边缘区域的每一所述对角线的两端；以及 旋转机构，连接于所述夹盘机构的所述第二表面下侧以带动所述夹盘机构旋转； 其中，所述大尺寸方形基板的周缘对应设置于所述夹盘机构的所述矩形边缘区域内，使所述复数真空吸盘至少吸附于所述大尺寸方形基板表面的四个转角处，且所述复数夹持机构可夹持于所述大尺寸方形基板的所述周缘。
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