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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利加工装置以及卡盘工作台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112185875B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010610145.9，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权加工装置以及卡盘工作台是由花岛聪设计研发完成，并于2020-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本加工装置以及卡盘工作台在说明书摘要公布了：提供加工装置以及卡盘工作台，防止与卡盘工作台的更换相伴的被加工物的加工品质降低。加工装置包含：卡盘工作台；加工单元，其对卡盘工作台所保持的被加工物进行加工；移动单元，其使卡盘工作台和加工单元在与保持面平行的X轴方向和Y轴方向上相对移动；高度测定部，其安装于加工单元，将使移动单元移动而测定出的保持面的多个坐标处的高度测定为高度数据；读取部，其能够读取信息介质；以及控制单元。卡盘工作台包含对区分卡盘工作台的识别信息进行记录的信息介质。控制单元包含：高度数据记录部，其将高度数据和识别信息关联起来而记录；以及加工控制部，其根据与读取部所读取的识别信息相关联的高度数据，对加工中的加工单元的高度进行控制。

本发明授权加工装置以及卡盘工作台在权利要求书中公布了：1.一种加工装置，其具有： 卡盘工作台，其具有对被加工物进行保持的保持面和围绕该保持面的框体； 加工单元，其对该卡盘工作台所保持的该被加工物进行加工； 移动单元，其使该卡盘工作台和该加工单元在与该保持面平行的X轴方向和与该X轴方向垂直的Y轴方向上相对地移动； 高度测定部，其安装于该加工单元，将使该移动单元移动而测定出的该保持面的多个坐标X，Y处的高度Z测定为高度数据，所述高度数据用于多个卡盘工作台中的每个卡盘工作台； 读取部，其能够读取信息介质；以及 控制单元， 该卡盘工作台包含信息介质，该信息介质具有与该卡盘工作台相关联的识别信息，该识别信息能够区分该卡盘工作台与该多个卡盘工作台中的其他卡盘工作台，该信息介质还包含与该卡盘工作台相关联的该高度数据，该高度数据是在加工之前对该多个卡盘工作台中的每个卡盘工作台进行记录而得到的， 该读取部读取设置于该加工装置的该卡盘工作台的该信息介质， 该控制单元包含： 高度数据记录部，其将该高度数据和该识别信息关联起来而进行记录；以及 加工控制部，其在该卡盘工作台包含该信息介质时，根据与该读取部所读取的该识别信息相关联的针对该卡盘工作台的该高度数据，对加工中的该加工单元的高度进行调整，在该卡盘工作台不包含该信息介质时，使该高度测定部在加工之前测定多个卡盘工作台中的一个卡盘工作台的高度。

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