科米特技术美国股份有限公司A·奥丽维提获国家专利权
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龙图腾网获悉科米特技术美国股份有限公司申请的专利用于等离子处理装备的消弧装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114008737B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080044918.X，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权用于等离子处理装备的消弧装置是由A·奥丽维提设计研发完成，并于2020-06-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于等离子处理装备的消弧装置在说明书摘要公布了：本公开涉及等离子体生成系统，特别适用于利用等离子体进行半导体处理的系统。根据本公开的等离子体生成系统包括耦合到RF发生器的消弧装置。电弧装置包括基于触发信号接合的开关。此外，电弧装置包括功率耗散器，该功率耗散器由所述一组开关接合以在所述一组开关接合时耗散存储的和输送的能量。消弧装置还包括耦合到功率耗散器以执行阻抗变换的阻抗变换器，当开关与功率耗散器接合时，该阻抗变换降低了装置的输入端处的反射系数。等离子体生成系统还包括耦合到射频发生器的匹配网络和耦合到匹配网络的等离子体室。
本发明授权用于等离子处理装备的消弧装置在权利要求书中公布了：1.一种装置，包括： 第一网络； 第二网络； 第一网络和第二网络中的每一个包括： 基于接收触发信号而接合的开关元件；以及 由所述开关元件接合的功率耗散器，用于在所述开关元件接合时耗散存储的能量和输送的能量；以及 阻抗变换器，耦合到功率耗散器以执行阻抗变换，当所述第一网络的开关元件和所述第二网络的开关元件与功率耗散器接合时，所述阻抗变换降低了装置的输入端处的反射系数，所述第一网络和第二网络相对于所述阻抗变换器对称设置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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