动量光学公司杰里米·戈克里茨获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉动量光学公司申请的专利基底的热引导的化学蚀刻及其实时监测获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114041205B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080034321.7，技术领域涉及：H01L21/306；该发明授权基底的热引导的化学蚀刻及其实时监测是由杰里米·戈克里茨设计研发完成，并于2020-03-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本基底的热引导的化学蚀刻及其实时监测在说明书摘要公布了：控制基底蚀刻过程的方法300包括将基底的底表面或顶表面设置301、302成邻近一定体积的蚀刻流体，以产生蚀刻剂‑基底界面，以及经由空间受控的电磁辐射来加热305蚀刻剂‑基底界面。方法还包括将监测光束传输303穿过基底，基底和一定体积的蚀刻流体在监测光束的波长范围处是至少部分地透明的，以及在基底蚀刻过程期间，经由监测光束测量304基底表面的性质，以产生对于基底的实时测量性质。本文还公开了相应的蚀刻系统100A‑100D和计算机程序产品。
本发明授权基底的热引导的化学蚀刻及其实时监测在权利要求书中公布了：1.一种用于控制基底蚀刻过程的方法，所述方法包括： 将基底的底表面或顶表面设置成邻近一定体积的蚀刻流体，以产生蚀刻剂-基底界面，使得所述基底置于所述蚀刻流体和蚀刻辅助发射器之间； 经由由所述蚀刻辅助发射器发射的空间受控的电磁辐射来加热所述蚀刻剂-基底界面，其中，所述基底对所述空间受控的电磁辐射至少部分地透明，使得所述空间受控的电磁辐射的至少部分穿过所述基底，并且穿过所述基底的部分被所述蚀刻流体至少部分地吸收，并且所述蚀刻流体具有大于1cm-1的吸收系数； 将监测光束传输穿过所述基底，所述基底和所述一定体积的蚀刻流体在所述监测光束的波长范围处是至少部分地透明的； 在所述基底蚀刻过程期间，经由所述监测光束测量基底表面的性质，以产生对于所述基底的测量性质；以及 在所述基底蚀刻过程期间，响应于对于所述基底的所述测量性质来调节所述空间受控的电磁辐射，以在所述蚀刻剂-基底界面的一些区域提供大于所述蚀刻剂-基底界面的其他区域的电磁辐射。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人动量光学公司，其通讯地址为：美国科罗拉多州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号