索泰克公司迪迪埃·朗德吕获国家专利权
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龙图腾网获悉索泰克公司申请的专利用于碎裂多个晶圆组件的系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113574646B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080020793.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于碎裂多个晶圆组件的系统是由迪迪埃·朗德吕;O·科农丘克;纳迪娅·本默罕默德设计研发完成，并于2020-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于碎裂多个晶圆组件的系统在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于碎裂多个晶圆组件1的系统，各个组件1的晶圆之一包括脆化面并且各个组件1包括周边侧槽，该装置包括：‑托架8，用于保持所述多个组件中的组件1沿着存放轴线彼此间隔开且平行；‑分离装置12，用于在设置在分离装置的碎裂区域13中的组件1的周边槽6中施加分离力，所述分离力旨在将组件1的晶圆彼此分离以在脆化面3上引发晶圆的碎裂；以及驱动装置，其被配置为沿着用于将托架8与分离装置相对存放的所述轴线移动，以将托架8的组件1依次放置在分离装置的碎裂区域13中。
本发明授权用于碎裂多个晶圆组件的系统在权利要求书中公布了：1.一种用于碎裂多个晶圆组件1的系统，各个组件1的晶圆之一包括脆化面3并且各个组件1包括周边侧槽6，所述系统包括： -托架8，该托架8用于保持所述多个晶圆组件中的组件1沿着存放轴线彼此间隔开且平行； -分离装置12，该分离装置12用于在设置在所述分离装置的碎裂区域13中的组件1的所述周边侧槽6中施加分离力，所述分离力旨在将所述组件1的所述晶圆彼此分离以在所述脆化面3上引发所述晶圆的碎裂； -驱动装置，该驱动装置被配置为沿着所述轴线移动以将所述托架8存放成与所述分离装置相对，以便将所述托架8的组件1依次放置在所述分离装置的所述碎裂区域13中， 其中，所述分离装置12包括具有螺旋螺纹的螺杆21，刀片设置在所述碎裂区域13右侧的所述螺纹中。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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