株式会社迪思科松田智人获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利扩展装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111540693B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010079512.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权扩展装置是由松田智人;川口吉洋设计研发完成，并于2020-02-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本扩展装置在说明书摘要公布了：提供扩展装置，以更简单的构造对扩展片进行冷却。扩展装置对被加工物单元的扩展片进行扩展，该被加工物单元包含被加工物、扩展片以及粘贴该扩展片的外周侧的环状框架，其中，该扩展装置具有：框架固定单元，其具有框架支承部和框架按压部，该框架支承部能够对被加工物单元的环状框架进行支承，该框架按压部能够与该框架支承部一起对该环状框架进行夹持；以及扩展单元，其能够对扩展片进行扩展，该框架固定单元具有喷出口和冷却空气提供路，该冷却空气提供路的一端与该喷出口连通，并且另一端与冷却空气提供源连通，该喷出口能够将从该冷却空气提供源提供的冷却空气朝向被加工物单元所包含的扩展片的被加工物与该环状框架的内周缘之间的区域喷出。
本发明授权扩展装置在权利要求书中公布了：1.一种扩展装置，其对被加工物单元的扩展片进行扩展，该被加工物单元包含：被加工物；所述扩展片，其粘贴于该被加工物；以及环状框架，其供该扩展片的外周侧粘贴，其特征在于， 该扩展装置具有： 框架固定单元，其具有框架支承部和框架按压部，该框架支承部能够对被加工物单元的环状框架进行支承，该框架按压部能够与该框架支承部一起对该环状框架进行夹持；以及 扩展单元，其能够对具有由该框架固定单元固定的环状框架的被加工物单元所包含的扩展片进行扩展， 该框架固定单元的该框架按压部具有喷出口和冷却空气提供路，该冷却空气提供路的一端与该喷出口连通，并且另一端与冷却空气提供源连通， 该喷出口能够将从该冷却空气提供源提供的冷却空气朝向具有由该框架固定单元固定的环状框架的被加工物单元所包含的扩展片的如下的区域喷出：该区域是被加工物与该环状框架的内周缘之间的区域。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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